[发明专利]一种晶圆传输设备、化学机械平坦化装置及晶圆传输方法

权利要求书

1.一种晶圆传输设备，其特征在于，包括用于夹持搬运晶圆（300）的机械手（100）和用于放置所述晶圆（300）的中转台（200）；

所述机械手（100）包括第一夹爪（101）、第二夹爪（102）、用于带动所述第一夹爪（101）和所述第二夹爪（102）升降的升降台（105）、用于带动所述第一夹爪（101）和所述第二夹爪（102）在水平面内移动的移动机构、用于使所述第一夹爪（101）和所述第二夹爪（102）翻转的转动机构以及用于控制所述升降台（105）、所述移动机构、所述转动机构、所述第一夹爪（101）和所述第二夹爪（102）动作的控制机构；

所述中转台（200）包括第一中转台（201）、第二中转台（202）以及安装架（203）；

所述第一中转台（201）和所述第二中转台（202）沿竖直方向呈上下分布，所述第一夹爪（101）和所述第二夹爪（102）沿竖直方向呈上下分布；

所述第一中转台（201）滑动设置有用于支撑所述晶圆（300）的至少一个支架（205），所述支架（205）滑动至支撑位时，可用于放置所述第一夹爪（101）抓取的所述晶圆（300）；所述支架（205）滑动至张开位时，可使所述晶圆（300）由上部放入所述第二中转台（202）；或所述第一中转台（201）的一端转动设置于所述安装架（203），且所述第一中转台（201）可向上翻转至与水平面夹角80°-90°的位置、以使所述晶圆（300）可由上部放入所述第二中转台（202）。

2.根据权利要求1所述的晶圆传输设备，其特征在于，所述移动机构包括用于带动所述第一夹爪（101）移动的上机械手臂（107）和用于带动所述第二夹爪（102）移动的下机械手臂（108），所述上机械手臂（107）和所述下机械手臂（108）均与所述升降台（105）连接、并由所述升降台（105）带动所述上机械手臂（107）和所述下机械手臂（108）统一升降。

3.根据权利要求1所述的晶圆传输设备，其特征在于，所述第一中转台（201）和所述第二中转台（202）均设置有用于限制所述晶圆（300）放置位置并避免所述晶圆（300）掉落的挡块（207）。

4.根据权利要求1所述的晶圆传输设备，其特征在于，所述支架（205）的数量为四个，其中两个所述支架（205）滑动设置于第一滑轨，另外两个所述支架（205）滑动设置于第二滑轨，所述第一滑轨和所述第二滑轨的设置方向相同，且所述第一滑轨和所述第二滑轨分别设置于所述安装架（203）相对的两端。

5.一种化学机械平坦化装置，其特征在于，包括半导体设备前端模块、清洗模块（500）、抛光模块（400）以及上述权利要求1-4任一项所述的晶圆传输设备，所述中转台（200）设置于所述抛光模块（400）入口，所述机械手（100）设置于清洗模块（500），所述半导体设备前端模块的出口处设置有前端模块中转台（601），所述前端模块中转台（601）用于放置待抛光的所述晶圆（300）；所述中转台（200）的第一中转台（201）用于放置由所述前端模块中转台（601）传输过来的且翻转180度的所述晶圆（300），所述中转台（200）的第二中转台（202）用于放置抛光之后的所述晶圆（300）。

6.一种晶圆传输方法，适用于权利要求1-4任一项所述的晶圆传输设备，其特征在于，包括：

通过升降台（105）将第一夹爪（101）和第二夹爪（102）调整至合适的高度；

通过转动机构将所述第一夹爪（101）和所述第二夹爪（102）转动至合适的角度；

通过移动机构将所述第一夹爪（101）移动至第一中转台（201）的正上方，将所述第二夹爪（102）移动至第二中转台（202）的正上方；

通过控制机构控制所述第一夹爪（101）和所述第二夹爪（102）进行夹取晶圆（300）或松开所述晶圆（300）。

7.根据权利要求6所述的晶圆传输方法，其特征在于，所述通过控制机构控制所述第一夹爪（101）和所述第二夹爪（102）进行夹取晶圆（300）或松开所述晶圆（300），包括：

所述第一夹爪（101）松开其夹紧的所述晶圆（300）放置于所述第一中转台（201），所述第二夹爪（102）松开其夹紧的所述晶圆（300）放置于所述第二中转台（202）；

或所述第一夹爪（101）松开其夹紧的所述晶圆（300）放置于所述第一中转台（201），所述第二夹爪（102）夹取放置于所述第二中转台（202）的所述晶圆（300）；

或所述第一夹爪（101）夹取放置于所述第一中转台（201）的所述晶圆（300），所述第二夹爪（102）松开其夹紧的所述晶圆（300）放置于所述第二中转台（202）；

或所述第一夹爪（101）夹取放置于所述第一中转台（201）的所述晶圆（300），所述第二夹爪（102）夹取放置于所述第二中转台（202）的所述晶圆（300）。