[发明专利]老炼测试设备在审
申请号: | 202010712467.4 | 申请日: | 2020-07-22 |
公开(公告)号: | CN113970672A | 公开(公告)日: | 2022-01-25 |
发明(设计)人: | 王延政;周培;周军;詹超;石彬彬;宫鹏鹏;季培成 | 申请(专利权)人: | 上海复旦微电子集团股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00;G01R1/04 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 陆磊 |
地址: | 200433 上海市杨浦区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测试 设备 | ||
1.一种老炼测试设备(10),其特征在于,包括:
具有多层第一平台(110)的支架(100);
可拆卸地设置于所述多层第一平台(110)中的每一层第一平台(110)的机箱(200),所述机箱(200)由所述支架(100)支撑;
设置于所述机箱(200)内的至少一个老炼插槽模块(300);
其中,所述至少一个老炼插槽模块(300)中的每一个老炼插槽模块(300)均包括至少一个温区子模块(310),所述至少一个温区子模块(310)中的每一个温区子模块(310)均用于对待测器件进行老炼测试。
2.根据权利要求1所述的老炼测试设备(10),其特征在于,所述每一个温区子模块(310)均包括用于控制老炼测试的系统控制板(311)。
3.根据权利要求2所述的老炼测试设备(10),其特征在于,所述每一个温区子模块(310)包括与所述系统控制板(311)可通信连接并且提供直流稳压电源的DPS板(312)。
4.根据权利要求3所述的老炼测试设备(10),其特征在于,所述DPS板(312)包括多路待测器件电源电路,其用于向所述待测器件提供工作电源。
5.根据权利要求3或4所述的老炼测试设备(10),其特征在于,所述每一个老炼插槽模块(300)均包括一个老炼插槽接口板(320),所述系统控制板(311)和所述DPS板(312)通过所述一个老炼插槽接口板(320)可通信连接。
6.根据权利要求5所述的老炼测试设备(10),其特征在于,包括至少一个老炼负载板(400),所述每一个老炼插槽模块(300)各自通过其老炼插槽接口板(320)分别与一个老炼负载板(400)连接。
7.根据权利要求6所述的老炼测试设备(10),其特征在于,所述至少一个老炼负载板(400)中的每一个老炼负载板(400)均适于设置至少一个温控夹具(500),所述至少一个温控夹具(500)中的每一个温控夹具(500)均适于容纳所述待测器件。
8.根据权利要求7所述的老炼测试设备(10),其特征在于,所述每一个老炼负载板(400)均设置有至少一个接口插座,所述至少一个接口插座中的每一个接口插座适于分别连接一个温控夹具(500)。
9.根据权利要求6所述的老炼测试设备(10),其特征在于,所述机箱(200)包括第一箱体(210),所述第一箱体(210)的外顶壁至少部分地形成适于安装所述一个老炼负载板(400)的第二平台(211)。
10.根据权利要求9所述的老炼测试设备(10),其特征在于,所述机箱(200)包括位于所述第一箱体(210)后方的第二箱体(220)。
11.根据权利要求10所述的老炼测试设备(10),其特征在于,所述每一个老炼插槽模块(300)或每一个机箱(200)还包括与老炼插槽接口板(320)连接的温控夹具电源(330)。
12.根据权利要求11所述的老炼测试设备(10),其特征在于,所述每一个老炼插槽模块(300)或每一个机箱(200)还包括与老炼插槽接口板(320)连接的系统控制电源(350)。
13.根据权利要求12所述的老炼测试设备(10),其特征在于,所述每一个老炼插槽模块(300)或每一个机箱(200)还包括与老炼插槽接口板(320)连接的网络交换机(360)。
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