[发明专利]鼻塞过滤装置及鼻塞过滤装置组

权利要求书

1.一种鼻塞过滤装置，包括：

一装置本体，中间具有一通气流道，该通气流道具有一进气端及一出气端；

一滤网，设置于该出气端；

一第一致动器，以半导体制程制出，设置于该进气端之内，供以受驱动并对该装置本体外部的一气体产生高压输送；

一第二致动器，以半导体制程制出，与该第一致动器堆叠接合，供以受驱动并对该第一致动器所传输的该气体再传输导送至该滤网进行净化过滤；

一气体传感器，设置于该出气端，供以检测出该出气端的一气体品质数据；以及

一驱动模块，电连接该第一致动器、该第二致动器及该气体传感器，具有一微处理器及一通讯单元；

其中，该微处理器用以驱动该第一致动器、该第二致动器及该气体传感器，再通过该通讯单元将该气体传感器的该气体品质数据传输至一外部装置。

2.如权利要求1所述的鼻塞过滤装置，其特征在于，该第一致动器包含：

一出气基座，以一硅基材蚀刻制程制出一出气腔室及一压缩腔室，且该出气腔室及该压缩腔室之间蚀刻制出一贯穿孔；

一第一氧化层，以沉积制程生成叠加于该出气基座上，并对应该压缩腔室部分予以蚀刻去除；

一喷气共振层，以一硅基材沉积制程生成叠加于该第一氧化层，并对应该压缩腔室部分蚀刻去除形成多个进气孔洞，以及对应该压缩腔室中心部分蚀刻去除形成一喷气孔，促使该进气孔洞与该喷气孔之间形成可位移振动的一悬浮区段；

一第二氧化层，以沉积制程生成叠加于该喷气共振层的该悬浮区段上，并部分蚀刻去除形成一共振腔区段，并与该喷气孔连通；

一共振腔层，以一硅基材蚀刻制程制出一共振腔，并对应接合叠加于该第二氧化层上，促使该共振腔对应到该第二氧化层的该共振腔区段；

一第一压电组件，以沉积制程生成叠加于该共振腔层上，包含有一第一下电极层、一第一压电层、一第一绝缘层及一第一上电极层，其中该第一下电极层以沉积制程生成叠加于该共振腔层上，该第一压电层以沉积制程生成叠加于该第一下电极层的部分表面上，该第一绝缘层以沉积制程生成叠加于该第一压电层的部分表面，该第一上电极层以沉积制程生成叠加于该第一绝缘层的表面上及该第一压电层未设有该第一绝缘层的表面上，用以与该第一压电层电性连接；

其中，通过驱动该第一压电组件带动该喷气共振层产生共振，促使该喷气共振层的该悬浮区段产生往复式地振动位移，以吸引该气体通过该多个进气孔洞进入该压缩腔室，并通过该喷气孔再导入该共振腔，再由该共振腔排出集中该气体导入该压缩腔室，并经过该贯穿孔，再由该出气腔室形成高压排出，实现该气体的传输流动。