[发明专利]气体流量计

权利要求书

1.一种气体流量计，测量气体的流量，其中，具备：

气体流量计主体；

流量计入口，其使所述气体流入到所述气体流量计主体；

流量计出口，其使所述气体从所述气体流量计主体流出；

流入开口部，其与所述流量计入口连通且面向所述气体流量计主体的内部开口；

流量测量部，其测量从所述流入开口部流入且从所述流量计出口流出的所述气体的流量；

过滤器装置，其在所述流量测量部的上游侧具有去除从所述流入开口部流入的所述气体的尘埃的过滤器，

所述过滤器以覆盖所述流入开口部的方式配置，所述过滤器的至少一部分形成朝向下游侧相互隔开间隔而配置的多层的过滤器隔壁，该多层的过滤器隔壁中的至少两个过滤器隔壁在朝向下游侧不同的位置具有开口部。

2.如权利要求1所述的气体流量计，其中，

所述多层的过滤器隔壁中相邻的两个过滤器隔壁在朝向下游侧相互不同的位置具有开口部。

3.如权利要求1或2所述的气体流量计，其中，

具备打开及关闭所述流入开口部的遮止阀，

所述过滤器装置具有收纳所述遮止阀的收纳部。

4.如权利要求1或2所述的气体流量计，其中，

所述过滤器装置配置在所述流入开口部的下方，

所述多层的过滤器隔壁朝向所述流入开口部的下方相互隔开间隔而配置。