[发明专利]闸阀

说明书

本发明的闸阀具有阀箱、阀体、旋转轴、旋转轴驱动部、可动阀部、阀箱施力部、油压驱动部、第一连接部和第二连接部。所述第一连接部具有：沿第一开口部的周围设置的多个连接部件；以及内密封区域和外密封区域，在所述第一开口部的径向中的所述连接部件的两侧位置上沿所述第一开口部的周围设置且能密封所述阀箱的表面和第一腔室的表面。

技术领域

本发明涉及一种闸阀，特别是涉及一种适于在钟摆阀中使用的技术。

背景技术

在真空装置等中设置有闸阀，该闸阀用于将腔室与管道之间、管道与管道之间、或者管道与泵等之间等不同真空度的两个空间之间的流道阻断，并且将被阻断的两个空间相连。作为这种闸阀，已知有各种形式的阀门。

作为这种阀门，已知有如下的钟摆式闸阀：在阀门的密闭时，以遮挡流道的方式转动用于关闭阀门的阀体，并且具有作为将阀体推压到阀箱开口的施力部的油压驱动型伸缩致动器。

本发明人提出了与这种闸阀有关的专利申请(专利文献1)。

闸阀能够密闭由阻断操作阻断的流道的上游侧的空间及下游侧的空间，并且与流道的上游侧和下游侧连接。闸阀与阀箱开口的外侧的部件连接。

在该情况下，闸阀通过使用由非专利文献1所记载的日本工业标准规定的真空装置用凸缘来与具有流道的腔室连接。

专利文献1：日本专利第6358727号公报

非专利文献1：日本工业标准JIS_B_2290-1998真空装置用凸缘

然而，近年来，为了实现真空装置的节省空间化，希望将闸阀与具有流道的腔室直接连接。另外，依然还进行基于非专利文献1所记载的日本工业标准的连接。因此，作为闸阀的结构，要求适用于两种连接方式的结构。

另外，在平板显示器(FPD，flat panel display)的制造等中，基板趋向大型化，在制造平板显示器的真空装置中，装置大型化也显著。因此，要求构造真空装置的各个部件的小型化。而且，由于伴随装置大型化而减少腔室外侧的空间，因此在基于非专利文献1所记载的日本工业标准的上述连接结构中，难以利用紧固部件来进行紧固。因此，希望将闸阀与具有流道的腔室直接连接。

此外，在制造闸阀时需要较多的时间。另一方面，要求与真空装置的设计变更相应的闸阀规格。特别是，作为真空装置的初期设计，虽然采用基于上述非专利文献1所记载的日本工业标准的连接结构，但为了节省空间化，也不能否定可能会变更如与具有流道的腔室直接连接的真空装置的设计。因此，作为闸阀结构，要求能够实现两种连接方式(使用凸缘的连接结构及闸阀与腔室直接连接的结构)。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而提出的，想要实现以下目的。

1、提供能够应对两种连接方法的闸阀。

2、实现装置的节省空间化。