[发明专利]多重基板处理装置及利用此的OCR喷墨系统

权利要求书

1.一种多重基板处理装置，包括：

驱动轴，相互面对地并排配置，并且以着第一方向提供移动路线；

至少一个平台单元，支撑基板，并且可沿着所述驱动轴移动；

其中，所述平台单元包括：

平台，可贴装所述基板；及

转向部，以与所述第一方向直交的第二方向转换所述平台的方向。

2.根据权利要求1所述的多重基板处理装置，其特征在于，还包括：

控制器，在所述移动路线上控制所述平台单元的移动方向和移动位置；

以基板进入区域和基板处理区域、基板运出区域的顺序区划所述移动路线；

所述控制器在所述基板进入区域和所述基板运出区域中驱动所述转向部以转换所述平台的方向。

3.根据权利要求1所述的多重基板处理装置，其特征在于，

所述平台单元还包括：

升降移动部，以与所述第一方向直交的第三方向升降移动所述平台。

4.根据权利要求1所述的多重基板处理装置，其特征在于，还包括：

下沉感应传感器，以所述第二方向相互间隔且与所述基板相互面对，并且具有发光部和受光部；

所述下沉感应传感器比较被所述基板反射回来的反射光到达时间以感应是否下沉。

5.一种多重基板处理装置，包括：

驱动轴，相互面对地并排配置，并且以第一方向提供移动路线；

至少一个平台单元，支撑基板，并且可沿着所述驱动轴移动；

所述平台单元包括：

平台，可贴装所述基板；及

升降移动部，以与所述第一方向直交的第三方向升降移动所述平台。

6.根据权利要求5所述的多重基板处理装置，其特征在于，还包括：

控制器，在所述移动路线上控制所述平台单元的移动方向和移动位置；

以基板进入区域和基板处理区域、基板运出区域的顺序区划所述移动路线；

所述控制器在所述基板进入区域和所述基板运出区域中驱动所述升降移动部，以升降移动所述平台。

7.根据权利要求5所述的多重基板处理装置，其特征在于，还包括：

转向部，以与所述第一方向直交的第二方向转换所述平台的方向。

8.一种OCR喷墨系统，包括：

头桥，配置在基板处理区域上；

头部单元，通过所述头桥能够以第二方向移动，可在基板上喷墨；及

多重基板处理装置，沿着所述基板处理区域和配置在所述基板处理区域前后的基板进入区域、基板运出区域移动所述基板；

其中，所述多重基板处理装置具有权利要求1或者4的特征。

9.根据权利要求8所述的OCR喷墨系统，其特征在于，还包括：

头部对准调整部，两端被支撑在驱动轴上，能够以第一方向及所述第二方向移动，并且配置成与所述头部单元相互面对，其中所述驱动轴相互面对地并排配置。