[发明专利]一种便于对齐的扫描式大面阵的微透镜阵列结构

说明书

本发明公开了一种便于对齐的扫描式大面阵的微透镜阵列结构，包括第一保护工装、第二保护工装、第一微透镜阵列、第二微透镜阵列、二维微位移台、高精度垫片和校正工装；所述第一保护工装和第二保护工装分别与第一微透镜阵列和微透镜阵列进行粘合，保护两片微透镜阵列；所述校正工装用于调整第二微透镜阵列相对位置，其通过固定在二维微位移台上，用于实现两片微透镜阵列的高精度对齐。本发明提供的扫描式大面阵微透镜阵的对齐方法，结构简单，操作方便，能够实现两片微透镜阵列微米量级的高精度对齐，具有体积小、装置简单、加工精度要求低等特点。

技术领域

本发明属于光学技术技术领域，尤其涉及一种便于对齐的扫描式大面阵的微透镜阵列结构。

背景技术

微透镜阵列是光学元器件微型化、阵列化、集成化的重要代表之一，一般由多个口径较小、特定形状的微透镜按一定的规律排列组成。当前，微透镜阵列在成像光学、光束整形、光数据传输、光束扫描、高灵敏度传感等领域均体现出了独特的应用价值。

微透镜阵列可用于扫描式成像光学系统，以解决传统成像光学系统高分辨率与大视场之间的固有矛盾，具有扫描精度高、频率快、结构紧凑等优点。扫描式微透镜阵列通常由两块完全相同的微透镜阵列和一个二维微位移驱动器组成，具有层叠式的结构。一般来说，微透镜阵列1在二维位移台的驱动下运动，微透镜阵列2固定，以实现微透镜阵列之间的二维相对运动。

大面阵的微透镜阵列具有通光孔径大、子单元个数多、光束转向能力强、易实现大角度光束扫描等优点。

由于微透镜阵列子单元尺寸小、结构精细，在扫描成像的实际应用中，要求两片微透镜阵列之间的相对位置精确，并严格对齐。在具体实施过程中，往往由于两片微透镜阵列之间存在较大的倾斜和偏心误差，对齐不准，而致使扫描中出现杂散光等问题，导致扫描角度和分辨率等达不到理论要求。大面阵微透镜阵列的对齐技术难度更大、要求更高。

发明内容

为了解决目前现有的两片层叠式微透镜阵列之间存在的相对倾斜、偏心和对齐不准等问题，本发明提供了一种便于对齐的扫描式大面阵的微透镜阵列结构，能够实现两片微透镜阵列微米量级的高精度对齐。

为实现本发明的目的，本发明提供的一种便于对齐的扫描式大面阵的微透镜阵列结构，包括第一保护工装、第二保护工装、第一微透镜阵列、第二微透镜阵列、二维微位移台、高精度垫片和校正工装；

所述第一保护工装和第二保护工装分别与第一微透镜阵列和微透镜阵列进行粘合，保护两片微透镜阵列；

所述第一微透镜阵列与第一保护工装粘合后安装于二维微位移台上，二维微位移台用于第一驱动微透镜阵列，实现微米量级的上下左右移动，从而实现扫描；

所述两片微透镜阵列之间安装高精度垫片，用于精确控制第一微透镜阵列与第二微透镜阵列之间的距离；

所述校正工装用于调整第二微透镜阵列相对位置，其通过固定在二维微位移台上，用于实现两片微透镜阵列的高精度对齐。

其中，所述第一保护工装包括一个具有一定厚度的正方形框，且其四角分别设计有倒角，便于微透镜阵列的安装和胶的粘合。

其中，所述第二保护工装包括一个具有一定厚度的正方形框，且其四角分别设计有倒角，便于微透镜阵列的安装和胶的粘合。

与现有技术相比，本发明的有益效果为，本发明提供的扫描式大面阵微透镜阵的对齐方法，结构简单，操作方便，能够实现两片微透镜阵列微米量级的高精度对齐，具有体积小、装置简单、加工精度要求低等特点。

附图说明

图1为本发明提供的一种便于对齐的扫描式大面阵的微透镜阵列结构的整体结构示意图；

图2为本发明提供的一种便于对齐的扫描式大面阵的微透镜阵列结构的部分结构示意图；