[发明专利]防有机氯硅烷废弃物的环保处理方法

权利要求书

1.一种含有机氯硅烷废弃物的环保处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)分别收集氯硅烷废气和废液后通入第一等离子裂解反应器，第一等离子裂解反应器将氯硅烷废气和废液裂解，并以水蒸气作为工作气，产生的H₂和O₂与裂解后的物质进行元素配伍后排出尾气；

(2)分别收集其它有机废气和废液后通入第二等离子裂解反应器，第二等离子裂解反应器将有机废气和废液裂解，并以水蒸气作为工作气，产生的H₂和O₂与裂解后的物质进行元素配伍后排出尾气；

(3)步骤(1)和步骤(2)的尾气同时通入二燃室，在二燃室前端补入空气，尾气中的各元素在此处与空气中的O进行第二次配伍，并在二燃室内重组生成稳定的物质；

(4)对二燃室排出的尾气进行余热回收后急冷收尘；

(5)尾气的洗涤及排放。

2.根据权利要求1所述的含有机氯硅烷废弃物的环保处理方法，其特征在于，步骤(1)中的废气收集为：将生产过程中产生的氯硅烷废气通过管道独立送至共用的氯硅烷储气罐，经压缩机增压、混合后，经缓冲罐送至第一等离子裂解反应器；

步骤(1)中的废液收集为：将生产过程中产生的氯硅烷废液通过残液桶转运至氯硅烷废液储槽，经预热后送至第一等离子裂解反应器。

3.根据权利要求1所述的含有机氯硅烷废弃物的环保处理方法，其特征在于，步骤(2)中的废气收集为：将生产过程中产生的不含有氯硅烷气体的其他废气送至废气混合罐，经压缩机增压后送至第二等离子裂解反应器；步骤(2)中的废液收集为：将生产过程中产生的不含有氯硅烷废液的其它废液通过残液桶转运至废液混合槽，经预热后送至第二等离子裂解反应器。

4.根据权利要求1所述的含有机氯硅烷废弃物的环保处理方法，其特征在于，步骤(4)利用余热回收器将高温尾气与水蒸气、氯硅烷废液、其他废液、需补入的空气换热以实现对水蒸气、氯硅烷废液、其他废液和需补入空气的预热。

5.根据权利要求1所述的含有机氯硅烷废弃物的环保处理方法，其特征在于，步骤(4)经余热回收后出来的尾气进入喷雾急冷器，将尾气的温度急冷至180-200℃，降温后的尾气进入袋式补集器。

6.根据权利要求1所述的含有机氯硅烷废弃物的环保处理方法，其特征在于，步骤(5)中尾气依次经水洗和碱洗之后由烟囱排出。

7.根据权利要求1所述的含有机氯硅烷废弃物的环保处理方法，其特征在于，步骤(2)中的其它有机废气和废液包括但不限于有机硅氧烷、有机硅聚合物以及含有羟基的溶剂。