[发明专利]一种用于热阴极弧放电离子源的可更换灯丝组件

权利要求书

1.一种用于热阴极弧放电离子源的可更换灯丝组件，其特征在于：包括馈电连接铜杆(1)、陶瓷管(2)、安装法兰(3)、金属保护管(5)、屏蔽陶瓷管(6)、灯丝安装端子(7)、灯丝(8)；安装法兰(3)上设有两个馈穿孔，每个馈穿孔的两侧分别固定连接有陶瓷管(2)和金属保护管(5)，馈电连接铜杆(1)的前端穿过陶瓷管(2)和金属保护管(5)中心进入真空环境，馈电连接铜杆(1)穿出馈穿孔的部分上套有屏蔽陶瓷管(6)，馈电连接铜杆(1)前端连接有灯丝安装端子(7)，灯丝(8)连接在两个灯丝安装端子(7)上。

2.根据权利要求1所述的一种用于热阴极弧放电离子源的可更换灯丝组件，其特征在于：所述馈电连接铜杆(1)为光滑杆，其后端连接外部供电电缆。

3.根据权利要求2所述的一种用于热阴极弧放电离子源的可更换灯丝组件，其特征在于：所述馈电连接铜杆(1)与陶瓷管(2)通过可伐合金(10)焊接连接，保证馈电连接铜杆(1)进入陶瓷管(2)后真空密封。

4.根据权利要求1所述的一种用于热阴极弧放电离子源的可更换灯丝组件，其特征在于：所述陶瓷杆(2)与安装法兰(3)通过可伐合金(10)焊接固定并实现真空密封。

5.根据权利要求1所述的一种用于热阴极弧放电离子源的可更换灯丝组件，其特征在于：所述屏蔽陶瓷管(6)在馈电连接铜杆(1)和安装法兰(3)之间形成介质层，避免真空环境下出现的低压气体击穿而造成瞬间短路。

6.根据权利要求1所述的一种用于热阴极弧放电离子源的可更换灯丝组件，其特征在于：所述金属保护管(5)对屏蔽陶瓷管(6)进行保护并实现对屏蔽陶瓷管(6)的定位。

7.根据权利要求1所述的一种用于热阴极弧放电离子源的可更换灯丝组件，其特征在于：所述灯丝安装端子(7)上预留有灯丝安装孔，灯丝(8)安装至灯丝安装孔中。

8.根据权利要求1所述的一种用于热阴极弧放电离子源的可更换灯丝组件，其特征在于：所述安装法兰(3)上预留有法兰密封槽(9)，法兰密封槽(9)安装有O形圈，安装法兰(3)四角各设有一个法兰螺钉孔(4)，并通过螺钉安装至离子源上。