[发明专利]一种超临界流体清洗方法及其装置

权利要求书

1.一种超临界流体清洗方法，其特征在于，包括步骤：

向清洗室内持续通入超临界流体；

交替改变所述清洗室内的压力或工件的温度，以使所述超临界流体在所述工件表面的污染物中重复形成空穴或气泡，所述污染物脱离工件表面；

将脱离工件的所述污染物随所述超临界流体排出，完成工件清洗。

2.根据权利要求1所述的超临界流体清洗方法，其特征在于，所述超临界流体为二氧化碳、氮气、水、空气或惰性气体。

3.根据权利要求1所述的超临界流体清洗方法，其特征在于，所述交替改变所述清洗室内的压力的工艺为：脉冲式通入所述超临界流体，或所述超临界流体通入横截面积不同的所述清洗室。

4.根据权利要求1所述的超临界流体清洗方法，其特征在于，所述交替改变所述工件的温度的工艺为：采用加热方式改变所述工件的表面温度。

5.根据权利要求1所述的超临界流体清洗方法，其特征在于，排出的含有所述污染物的超临界流体经减压分离、增压以及降温后，重新转化为超临界流体进行循环利用。

6.根据权利要求1所述的超临界流体清洗方法，其特征在于，还包括：

在通入所述清洗室前，预先向所述超临界流体中加入甲醇、乙醇、丙酮中的一种或几种的混合。

7.一种如权利要求1-6任一项所述方法的超临界流体清洗装置，其特征在于，包括：

一流体储罐，以提供流体源，所述流体源经增压、换热后转换为超临界流体；

一清洗室，其连接所述流体储罐，可通入或排放所述超临界流体，且其由至少两个横截面积不同的清洗腔体构成。

8.根据权利要求7所述的超临界流体清洗装置，其特征在于，还包括：

一加热器，其设置于所述清洗室内的工件架上，以对所述工件进行加热。

9.根据权利要求7所述的超临界流体清洗装置，其特征在于，还包括：

一增压泵，其连接所述流体储罐；和

一换热器，其入口连接所述增压泵，出口连接所述清洗室；

其中，所述流体储罐内的流体源依次经所述增压泵增压处理和经所述换热器换热处理后，转换为超临界流体通入所述清洗室。

10.根据权利要求7所述的超临界流体清洗装置，其特征在于，还包括：

一引风机，其连接所述清洗室；和

一分离罐，其入口连接所述引风机，出口分别与所述流体储罐和换热器连接；

其中，经所述清洗室排出的含有污染物的超临界流体通过所述引风机送入所述分离罐进行减压、分离处理，分离后的流体存储于所述流体储罐内或经换热器换热后，转换为超临界流体循环通入所述清洗室。

11.根据权利要求7所述的超临界流体清洗装置，其特征在于，所述清洗室包括相邻布置且平滑过渡的第一清洗腔体和第二清洗腔体，其中：

所述第一清洗腔体上的进气口连接所述换热器；

所述第二清洗腔体上的排气口连接所述引风机；

且所述第一清洗腔体的横截面积大于所述第二清洗腔体的横截面积。

12.根据权利要求11所述的超临界流体清洗装置，其特征在于，还包括：

一第一转移室，其设置于所述第一清洗腔体的入口处；以及

一第二转移室，其设置于所述第二清洗腔体的出口处。