[发明专利]一种用于产生180nm-290nm深紫外光的方法

权利要求书

1.一种用于产生180nm-290nm深紫外光的方法，其特征在于，依次包括：激光器、准直镜、偏振风光棱镜、倍频晶体、四分之一波片和石英玻片，各元件的中心轴线对齐；所述偏振风光棱镜下方设有全反射镜；

（1）以波长为380nm-580nm的激光器作为种子光源，产生的激光为线偏振光；

（2）线偏振光通过准直镜后，垂直入射到偏振分光棱镜，随后继续向前传播进入倍频晶体，倍频后输出波长为180nm-290nm的深紫外光以及少量380nm-580nm波长的光，此时仍然为线偏振光；

（3）光继续传播进四分之一波片，线偏振光转换为圆偏振光；

（4）光线最后通过石英玻片，玻片后端镀膜，该膜对380nm-580nm波段的光为高反射作用，而对180nm-290nm波段的深紫外光为增透作用，即：倍频产生的180nm-290nm波段的深紫外光即刻输出，而380nm-580nm波段的光则被反射，往回传播，随后再次经过四分之一波片后，该部分圆偏振光变为线偏振光，此时的线偏振光与最初的线偏振光的偏振方向垂直，随后传播经过准直镜聚焦，再次入射到偏振风光棱镜中，由于偏振方向不同，所以此时的光不会传播回激光器中，而是经过45°反射后垂直入射到位于其下方的全反射镜上后，随后光路反转，该部分380nm-580nm波段的光再次进入倍频晶体中，继续倍频，输出深紫外光。

2.根据权利要求1所述的用于产生180nm-290nm深紫外光的方法，其特征在于：倍频晶体的前、后段均镀有380nm-580nm波段的增透膜。

3.根据权利要求1所述的用于产生180nm-290nm深紫外光的方法，其特征在于：石英玻片镀膜材料由两种折射率的材料组成，选自SiO₂/TiO₂，SiO₂/Ta₂O₅、Al₂O₃/ Ta₂O₅、MgF₂/Al₂O₃、ZnS/MgF₂。