[发明专利]一种基于三坐标测量机的温度补偿系统及温度补偿方法

权利要求书

1.一种基于三坐标测量机的温度补偿系统，其特征在于，所述温度补偿系统包括温度传感器组件、转换装置、处理器和三坐标测量机；

所述温度传感器组件安装在三坐标测量机和待测工件上，用于获取三坐标测量机和待测工件位置的温度感应信号，将所述温度感应信号发送至转换装置；

所述转换装置，用于获取所述温度传感器组件发送的温度感应信号，对所述温度感应信号进行滤波和转换处理，生成温度数据，将所述温度数据发送至处理器；

所述处理器，用于获取所述转换装置发送的温度数据，根据所述温度数据，结合补偿算法，计算出温度修正补偿数据，将所述温度修正补偿数据发送至三坐标测量机的控制系统；

所述三坐标测量机的控制系统，用于获取所述处理器发送的温度修正补偿数据，根据所述温度修正补偿数据调整三坐标测量机的测量参数。

2.根据权利要求1所述的基于三坐标测量机的温度补偿系统，其特征在于，所述三坐标测量机包括检测探头、操作台(1)、X轴移动组件(2)、Y轴移动组件(3)和Z轴移动组件(4)；

所述操作台(1)用于放置待测工件(8)；

所述三坐标测量机的检测探头安装在所述Z轴移动组件(4)的一端，所述Z轴移动组件(4)可控制所述检测探头沿Z轴方向移动，Z轴方向与操作台1台面垂直；

所述Z轴移动组件(4)安装在Y轴移动组件(3)的一端，所述Y轴移动组件(3)可控制所述检测探头和Z轴移动组件(4)沿Y轴方向移动，Y轴方向与操作台1(1)台面平行，且与所述Z轴方向垂直；

所述Y轴移动组件(3)安装在X轴移动组件(2)的一端，所述X轴移动组件(2)可控制所述检测探头、Y轴移动组件(3)和Z轴移动组件(4)沿X轴方向移动，X轴方向与操作台(1)台面平行，且分别与所述Y轴方向和Z轴方向垂直。

3.根据权利要求2所述的基于三坐标测量机的温度补偿系统，其特征在于，所述温度传感器组件包括第一温度传感器(5)、第二温度传感器(6)、第三温度传感器(7)和第四温度传感器(9)；

所述第一温度传感器(5)安装在所述X轴移动组件(2)上，用于采集X轴移动组件(2)处的温度感应信号；

所述第二温度传感器(6)安装在所述Y轴移动组件(3)上，用于采集Y轴移动组件(3)处的温度感应信号；

所述第三温度传感器(7)安装在所述Z轴移动组件(4)上，用于采集Z轴移动组件(4)处的温度感应信号；

所述第四温度传感器(9)安装在所述待测工件(8)上，用于采集待测工件(8)处的温度感应信号。

4.根据权利要求1所述的基于三坐标测量机的温度补偿系统，其特征在于，所述处理器采用的补偿算法包括简单热变形温度补偿法、复杂热变形温度补偿法中的一种或多种。

5.一种基于三坐标测量机的温度补偿方法，其特征在于，所述温度补偿方法包括：

温度传感器组件获取三坐标测量机和待测工件位置的温度感应信号，将所述温度感应信号发送至转换装置；

转换装置获取所述温度传感器组件发送的温度感应信号，对所述温度感应信号进行滤波和转换处理，生成温度数据，将所述温度数据发送至处理器；

处理器获取所述转换装置发送的温度数据，根据所述温度数据，结合补偿算法，计算出温度修正补偿数据，将所述温度修正补偿数据发送至三坐标测量机的控制系统；

三坐标测量机的控制系统获取所述处理器发送的温度修正补偿数据，根据所述温度修正补偿数据调整三坐标测量机的测量参数。

6.根据权利要求5所述的基于三坐标测量机的温度补偿方法，其特征在于，所述温度传感器组件获取三坐标测量机的温度感应信号包括：获取三坐标测量机上X轴移动组件(2)、Y轴移动组件(3)、Z轴移动组件(4)处的温度感应信号。