[发明专利]在片S参数测量系统校准方法及装置

权利要求书

1.一种在片S参数测量系统校准方法，其特征在于，该方法应用于在片S参数测量系统，所述在片S参数测量系统包括矢量网络分析仪、与矢量网络分析仪的输入输出端对应连接的两个扩频模块、以及与两个扩频模块对应连接的两个微波探针；所述方法包括：

在扩频模块的波导/同轴端未连接微波探针时，对在片S参数测量系统进行初次校准，得到第一误差模型；其中，所述第一误差模型用于将在片S参数测量系统的测试参考面从矢量网络分析仪的接收机端面转换至扩频模块的波导/同轴端面；

在扩频模块的波导/同轴端连接微波探针后，扩频模块的波导/同轴端面与微波探针端面形成互易的四端口网络，基于所述互易的四端口网络构建16-term误差模型，并根据波导/同轴端面与波导/同轴端面之间的路径损耗、以及波导/同轴端面与另一端微波探针端面之间的路径损耗对16-term误差模型中的串扰误差项进行简化，基于串扰误差项简化后的16-term误差模型对在片S参数测量系统的测量精度进行校准；

其中，所述根据波导/同轴端面与波导/同轴端面之间的路径损耗、以及波导/同轴端面与微波探针端面之间的路径损耗对16-term误差模型中的串扰误差项进行简化，包括：

根据波导/同轴端面与波导/同轴端面之间的路径损耗将波导/同轴端面与波导/同轴端面之间的串扰误差项置为0；

根据波导/同轴端面与另一端微波探针端面之间的路径损耗将波导/同轴端面与另一端微波探针端面之间的串扰误差项置为0。

2.如权利要求1所述的在片S参数测量系统校准方法，其特征在于，所述第一误差模型为8-term误差模型时，所述对在片S参数测量系统进行初次校准，得到第一误差模型，包括：

基于TRL校准方法对在片S参数测量系统进行初次校准，得到8-term误差模型。

3.如权利要求1所述的在片S参数测量系统校准方法，其特征在于，所述第一误差模型为12-term误差模型时，所述对在片S参数测量系统进行初次校准，得到第一误差模型，包括：

基于SOLT校准方法对在片S参数测量系统进行初次校准，得到12-term误差模型。

4.如权利要求1所述的在片S参数测量系统校准方法，其特征在于，基于所述互易的四端口网络构建的16-term误差模型为：

其中，S_mxy为在片S参数测量系统测量得到的校准件/被测件的S参数，对应的测量参考面在波导/同轴端面，S_aij为校准件/被测件实际的S参数，T为传输散射矩阵，E为串扰误差项矩阵，e₀₀、e₁₁、e₂₂、e₃₃、e₀₁、e₁₀、e₁₂、e₂₁、e₂₃、e₃₂、e₀₂、e₀₃、e₃₀、e₂₀、e₁₃、e₃₁为串扰误差项；

其中，e₀₃＝e₃₀、e₁₀＝e₀₁、e₀₂＝e₂₀、e₁₃＝e₃₁、e₂₃＝e₃₂、e₁₂＝e₂₁。

5.如权利要求1所述的在片S参数测量系统校准方法，其特征在于，在基于串扰误差项简化后的16-term误差模型对在片S参数测量系统的测量精度进行校准的过程中，校准件/被测件的使用数量为3。