[发明专利]一种实现氧化锌多种纳米形貌演化的方法

权利要求书

1.一种实现氧化锌多种纳米形貌演化的方法，其特征在于，包括：

步骤一，籽晶层制备，用磁控溅射系统在衬底上制备氧化锌籽晶层；

步骤二，在已经制备好的籽晶层上生长氧化锌纳米微结构，在该步骤中前驱体溶液使用六亚甲基四胺与硝酸锌配置而成，然后通过乙醇胺和/或盐酸分别调节前驱体溶液pH，再基于水热反应在不同pH条件下控制籽晶层生长氧化锌纳米微结构。

2.根据权利要求1所述的一种实现氧化锌多种纳米形貌演化的方法，其特征在于，在步骤二中，将已经制备好的籽晶层预先在空气气氛、温度500～600℃环境的条件下退火1.5～2.5小时。

3.根据权利要求1或2所述的一种实现氧化锌多种纳米形貌演化的方法，其特征在于，在步骤二中，将所制备好的前驱体溶液分别倒入聚四氟乙烯高压釜中，并将生长了氧化锌籽晶层的衬底使用双面胶粘到高压釜的顶部，籽晶层朝向液面。

4.根据权利要求3所述的一种实现氧化锌多种纳米形貌演化的方法，其特征在于，把聚四氟乙烯高压釜放入马沸炉中，在85～95℃的温度下反应。

5.根据权利要求3所述一种实现氧化锌多种纳米形貌演化的方法，其特征在于，在水热反应结束后，将样品用无水乙醇和去离子水对样品进行洗涤。

6.根据权利要求3所述一种实现氧化锌多种纳米形貌演化的方法，其特征在于，在步骤一中，使用纯度为99.99％的氩气作为溅射气体，其工作气压为10^-3Pa量级，衬底温度为室温，溅射气体的流速为18～22sccm，射频源与衬底间的距离为3～5cm，以110～120W的溅射功率溅射25～35分钟的时长。

7.根据权利要求3所述一种实现氧化锌多种纳米形貌演化的方法，其特征在于，在步骤一前，将直径为110毫米，厚度为6毫米的高纯度氧化锌靶，靶材纯度为99.99％预溅射5分钟以去除杂质。

8.根据权利要求1所述一种实现氧化锌多种纳米形貌演化的方法，其特征在于，在步骤一中所述衬底包括ITO玻璃、AZO玻璃、FTO玻璃、钠玻璃、石英、硅中的任一种。

9.根据权利要求1所述一种实现氧化锌多种纳米形貌演化的方法，其特征在于，所述乙醇胺纯度为99.0％。

10.根据权利要求1所述一种实现氧化锌多种纳米形貌演化的方法，其特征在于，所述酸锌纯度为99.0％。