[发明专利]一种用于半导体级硅单晶炉的石墨坩埚座

说明书

本发明公开了一种用于半导体级硅单晶炉的石墨坩埚座，包括支撑板A，所述支撑板A顶部两侧对称设置有仓体，所述仓体内底部设置有弹簧A，所述弹簧A的顶部设置有支撑杆A，所述支撑杆A的顶部设置有支撑板B，两组所述支撑板B相互靠近的一侧设置有支撑杆B，所述支撑杆B外侧的两侧对称设置有弹簧B，所述支撑板B外侧的中间位置处对称设置有滑块，所述支撑板B的顶部设置有支撑板C；本发明装置通过给装置适配一个底座，在底座上设置多个固定销，在装置的底座设置多个固定孔，固定销与固定孔相互适配，将装置的固定孔与底座的固定销相互重合，做到固定作用，安装时就不需要大量的人员来进行安装，省时省力。

技术领域

本发明涉及硅单晶炉技术领域，具体为一种用于半导体级硅单晶炉的石墨坩埚座。

背景技术

半导体级硅单晶炉是单晶硅产业链中重要的晶体生长设备，目前，世界上用于硅单晶体生长的主流方法主要有两种：一种是区熔法，另一种是直拉法，其中直拉法具有生长单晶质量大、直径大、成本低廉、生产效率高等优点，一直是半导体硅衬底制备的主要手段，直拉法要求坩埚同时具备旋转与升降功能，同时由于坩埚处于热场中心，受高温辐射易变形，因此承载坩埚的石墨坩埚座的稳定性、可靠性及耐热性极为重要，受热后应力集中，材料力学强度较低，经常出现受热变形及开裂的现象，故障率极高，严重影响设备的稳定性与生产效率，如何提高石墨坩埚座的稳定性、可靠性及耐热性已经成为本领域密切关注的课题；

现有装置具有以下几点不足之处：

1.现有的装置大多数都是瓣式的，瓣式的在安装的过程中，非常的不方便，需要多个人员一起安装才能完成，消耗大量的人力；

2.再将装置暗转在这个完成后，装置得不到固定作用，很容易倒下来，因此在安装时会有阻碍；

3.在装置内注入原料时，装置没有一个缓冲的效果，这样会破坏装置，减少装置使用的寿命。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于半导体级硅单晶炉的石墨坩埚座，以解决上述背景技术中提出1.现有的装置大多数都是瓣式的，瓣式的在安装的过程中，非常的不方便，需要多个人员一起安装才能完成，消耗大量的人力；2.再将装置暗转在这个完成后，装置得不到固定作用，很容易倒下来，因此在安装时会有阻碍；3.在装置内注入原料时，装置没有一个缓冲的效果，这样会破坏装置，减少装置使用的寿命的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于半导体级硅单晶炉的石墨坩埚座，包括支撑板A，所述支撑板A顶部两侧对称设置有仓体，所述仓体内底部设置有弹簧A，所述弹簧A的顶部设置有支撑杆A，所述支撑杆A的顶部设置有支撑板B，两组所述支撑板B相互靠近的一侧设置有支撑杆B，所述支撑杆B外侧的两侧对称设置有弹簧B，所述支撑板B外侧的中间位置处对称设置有滑块，所述支撑板B的顶部设置有支撑板C，所述支撑板C的顶部设置有底座，所述底座内底部的设置有多组固定销，所述底座内部的底部设置有多组坩埚座，所述坩埚座底部的中间位置处设置有固定孔，所述支撑板A顶部中间位置处对称设置有支撑柱，所述支撑柱的顶部设置有齿轮，所述坩埚座一端的顶部设置有紧固圈。

优选的，所述固定孔与固定销相互卡合。

优选的，所述滑块的底部设置有齿条，且齿轮与齿轮相互啮合。

优选的，所述紧固圈一端的一侧设置有卡勾，所述紧固圈的另一端设置有卡扣，且卡勾与卡扣相互适配。

优选的，所述卡扣的手持处设置有防滑纹。

优选的，所述支撑杆A的底部设置有限位板。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：该用于半导体级硅单晶炉的石墨坩埚座；