[发明专利]自由基辅助点火等离子体系统和方法

权利要求书

1.一种在衬底上形成图案化特征的方法，所述方法包括以下步骤：

在反应室内提供所述衬底；

使用远程等离子体单元，形成第一活化物种；

将所述第一活化物种提供到所述反应室，持续第一时间间隔；以及

在启动将所述第一活化物种提供到所述反应室的步骤之后，在所述反应室内形成第二活化物种，持续第二时间间隔，

其中所述第一时间间隔和所述第二时间间隔重叠。

2.根据权利要求1所述的方法，还包括将氩气提供到所述远程等离子体单元的步骤。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述衬底包含特征。

4.根据权利要求3所述的方法，还包括使用所述第二活化物种修整所述特征的步骤。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述特征包含碳。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述特征包含光刻胶、旋涂碳(SOC)材料和碳硬掩模(CHM)材料中的一种或多种。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述第二反应性物种使用直接等离子体形成。

8.根据权利要求1所述的方法，其中形成所述第二反应性物种的步骤包含将含氧气体提供到所述反应室。

9.根据权利要求8所述的方法，其中所述含氧气体包含选自包含O₂、CO₂和N₂O的群组的一种或多种气体。

10.根据权利要求8所述的方法，其中所述含氧气体未被供应到所述远程等离子体单元。

11.一种修整衬底上的特征的方法，所述方法包括以下步骤：

在反应室内提供所述衬底；

使用远程等离子体单元，形成第一活化物种；

将所述第一活化物种提供到所述反应室，持续第一时间间隔；

在启动将所述第一活化物种提供到所述反应室的步骤之后，在所述反应室内形成第二活化物种，持续第二时间间隔，其中所述第一时间间隔和所述第二时间间隔重叠；以及

使用所述第二活化物种修整所述特征。

12.根据权利要求11所述的方法，其中将第一气体提供到所述远程等离子体单元以形成所述第一活化物种，将第二气体提供到所述反应室以形成所述第二活化物种，并且其中所述第一气体和所述第二气体是不同的。

13.根据权利要求11所述的方法，其中所述特征包含碳。

14.根据权利要求11所述的方法，其中所述特征包含光刻胶、旋涂碳(SOC)材料和碳硬掩模(CHM)材料中的一种或多种。

15.根据权利要求11所述的方法，其中形成第二活化物种的步骤包含将含氧气体提供到所述反应室。

16.根据权利要求15所述的方法，其中所述含氧气体包含选自包含O₂、CO₂和N₂O的群组的一种或多种气体。

17.根据权利要求15所述的方法，其中所述含氧气体未被供应到所述远程等离子体单元。

18.根据权利要求11所述的方法，其中在形成所述第二活化物种的步骤期间所述反应室内的压力在约200Pa与约600Pa之间。

19.根据权利要求11所述的方法，其中所述第一活化物种包含氩气活化物种。

20.一种系统，其被配置成执行根据权利要求1至19所述的方法中的任一方法。