[发明专利]扬声器及其制备方法

权利要求书

1.一种扬声器，其特征在于，所述扬声器包括：

衬底，所述衬底包括围成空腔的侧壁以及支撑于所述侧壁一端的振动层；

驱动器，所述驱动器贴设于所述振动层远离所述空腔的一侧，用于接收电信号驱动所述振动层振动；

活塞连杆机构，所述活塞连杆机构收容于所述空腔内，其包括与所述振动层间隔设置且用于振动发声的活塞以及将所述活塞与所述振动层连接的连杆，所述活塞与所述侧壁间隔形成间隙；以及，

导向簧片，所述导向簧片夹设固定于所述连杆与所述活塞之间，所述导向簧片的周缘连接于所述侧壁。

2.根据权利要求1所述的扬声器，其特征在于，所述侧壁包括沿所述振动层的振动方向叠设并通过键合金属键合固定的第一侧壁和第二侧壁，所述振动层设置于所述第一侧壁远离所述第二侧壁的一端，所述导向簧片位于所述第一侧壁和第二侧壁之间，所述导向簧片由所述键合金属图形化形成。

3.根据权利要求1所述的扬声器，其特征在于，所述导向簧片与所述活塞至少部分间隔设置。

4.根据权利要求1所述的扬声器，其特征在于，所述导向簧片包括与所述连杆形成固定连接的第一部分、间隔绕设于所述第一部分并与所述侧壁连接的第二部分以及连接于所述第一部分和所述第二部分的第一连接臂，所述第一连接臂包括至少两个且相互间隔设置。

5.根据权利要求4所述的扬声器，其特征在于，所述第一连接臂包括三个且互相等间距设置。

6.根据权利要求4所述的扬声器，其特征在于，所述第一连接臂呈Z字型结构或蛇形结构或弧形结构或工字形结构。

7.根据权利要求4所述的扬声器，其特征在于，所述扬声器还包括形成于所述活塞靠近所述导向簧片一侧的副驱动器，所述副驱动器位于相邻两个所述第一连接臂之间。

8.根据权利要求1所述的扬声器，其特征在于，所述振动层包括贯穿其上的第一通孔，所述第一通孔与所述空腔连通。

9.根据权利要求8所述的扬声器，其特征在于，所述驱动器包括贯穿其上且与所述第一通孔对应设置的第二通孔，所述第二通孔通过所述第一通孔与所述空腔连通。

10.根据权利要求1所述的扬声器，其特征在于，所述驱动器沿所述振动层的振动方向向所述振动层的正投影完全落入所述振动层范围内。

11.根据权利要求1所述的扬声器，其特征在于，所述间隙小于或等于0.1mm。

12.根据权利要求8所述的扬声器，其特征在于，所述第一通孔包括至少两个，所述驱动器包括至少两个，每一所述驱动器设置于相邻两个所述第一通孔之间。

13.一种如权利要求1-12任意一项所述的扬声器的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

步骤S1，形成所述驱动器：准备第一块硅晶圆，所述第一块硅晶圆包括从下往上依次叠设的第一层、第二层、第三层、第四层以及第五层，所述第一层、所述第三层及所述第五层由二氧化硅材料制成，所述第二层和所述第四层由硅材料制成，在所述第五层远离所述第四层的一侧沉积驱动器材料以形成所述驱动器；

步骤S2，形成所述第一通孔和所述第二通孔：蚀刻所述驱动器、所述第五层和所述第四层以形成所述第一通孔和所述第二通孔；

步骤S3，形成所述连杆以及所述空腔：在所述第一层远离所述第二层的一侧沉积键合金属以形成键合金属层，蚀刻键合金属层、所述第一层以及所述第二层形成所述连杆以及所述空腔，并使所述第三层部分暴露于所述空腔；

步骤S4，准备第二块硅晶圆：准备第二块硅晶圆，所述第二块硅晶圆包括第六层和形成于所述第六层之上的第七层，所述第六层由硅材料制成，所述第七层由二氧化硅材料制成，在所述第七层远离所述第六层的一侧沉积键合金属并图形化以形成所述导向簧片；

步骤S5，所述第一块硅晶圆与所述第二块硅晶圆结合一起：所述键合金属层和所述导向簧片通过键合工艺进行固定，以使所述第一块硅晶圆与所述第二块硅晶圆结合一起；

步骤S6，形成所述活塞以及空隙：在所述第六层远离所述第七层的一侧蚀刻出所述活塞以及所述空隙，并使所述第七层部分暴露于所述空隙；

步骤S7，解除所述导向簧片与所述活塞的约束：通过释放工艺去除暴露于所述空隙的所述第七层以使所述导向簧片可正常生效。