[发明专利]一种用于激光加工的高放大倍率在线实时成像装置

权利要求书

1.一种用于激光加工的高放大倍率在线实时成像装置，其特征在于，包括：用于控制激光的激光控制模块及成像模块；

所述的激光控制模块包括间隔设置的第一调整架和第二调整架及设置在第一调整架和第二调整架之间的第三调整架，所述第一调整架上可拆卸的设有用于激光聚焦的长焦聚焦镜，所述第二调整架上可拆卸的设有用于激光聚焦的短焦聚焦镜，所述第三调整架上设有用于反射光线的双色镜；

所述成像模块包括用于产生照明光线的光源及用于反射和传播光线的半透半反镜，照明光线经过半透半反镜的反射产生用于观测加工过程的反射光线；

第一成像镜和第二成像镜，所述第一成像镜和第二成像镜间隔设置，所述第一成像镜的方向与反射光线的方向相垂直，所述第二成像镜的方向与反射光线的方向可垂直或可平行；

图像传感器，用于实现加工过程的图像的获取、存储、传输、处理和复现；

还包括用于调节第二成像镜角度的旋转机构，所述第二成像镜与旋转机构连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于激光加工的高放大倍率在线实时成像装置，其特征在于，还包括第一平移机构，第一平移机构用于调整第一成像镜和图像传感器在沿所述反射光线方向上的位置，所述第一成像镜与图像传感器均与第一平移机构连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于激光加工的高放大倍率在线实时成像装置，其特征在于，还包括第二平移机构，第二平移机构用于调整第二成像镜在沿所述反射光线方向上的位置，所述第二平移机构与旋转机构固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种用于激光加工的高放大倍率在线实时成像装置，其特征在于，所述旋转机构的旋转角度为0°～90°。

5.根据权利要求1-4任一项所述的一种用于激光加工的高放大倍率在线实时成像装置，其特征在于，所述第一调整架和第二调整架均为五维调整架，所述第三调整架为二维调整架。

6.根据权利要求1-4任一项所述的一种用于激光加工的高放大倍率在线实时成像装置，其特征在于，所述第一调整架和第二调整架方向均与激光光束传导方向相垂直。

7.根据权利要求1-4任一项所述的一种用于激光加工的高放大倍率在线实时成像装置，其特征在于，所述双色镜与反射光线和激光光束之间的角度均为45°。

8.根据权利要求1-4任一项所述的一种用于激光加工的高放大倍率在线实时成像装置，其特征在于，所述长焦聚焦镜，焦距大于50mm，所述短焦聚焦镜，焦距小于等于50mm。

9.根据权利要求1-4任一项所述的一种用于激光加工的高放大倍率在线实时成像装置，其特征在于，所述半透半反镜对反射光线的透射率和反射率均为50%。