[发明专利]一种SE无网结网版视觉检测蚀刻除丝方法在审

专利信息
申请号: 202010657501.2 申请日: 2020-07-09
公开(公告)号: CN111770640A 公开(公告)日: 2020-10-13
发明(设计)人: 宋加;朱显超 申请(专利权)人: 昆山乐邦印刷器材设备有限公司
主分类号: H05K3/12 分类号: H05K3/12;G03F7/20;G03F7/12
代理公司: 苏州瞪羚知识产权代理事务所(普通合伙) 32438 代理人: 周治宇
地址: 215300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 se 结网 视觉 检测 蚀刻 方法
【说明书】:

发明公开了一种SE无网结网版视觉检测蚀刻除丝方法,包括以下步骤:将网版充分静置,使用视觉扫描设备扫描网版的丝网,获得网版丝网图像;将网版丝网图像与电池片标准细栅图像进行比对,与电池片标准细栅图像的细栅线相重叠的网丝进行蚀刻标记;将网版丝网蚀刻标记图转绘制成菲林图;在网版的丝网表面覆盖感光材料,将菲林图贴于网版的丝网表面,对网版进行曝光,得到蚀刻印刷版;将蚀刻印刷版放置于显影液中进行显影,得到蚀刻版;将蚀刻版放置于蚀刻液中进行蚀刻处理,得到已蚀刻网版;将已蚀刻网版放置于清洗液中去除清理丝网表面的保护层和被蚀刻断的网丝,得到SE无网结网版半成品。

技术领域

本发明属于网版制造技术领域,尤其涉及一种SE无网结网版视觉检测蚀刻除丝方法。

背景技术

丝网印刷是生产晶体硅电池的重要工序之一,其基本原理是将导电浆料通过网版,在刮刀的作用下,把设计好的图形转移到硅片上;丝网印刷的主要目的是在硅片表面制备出精细的电路,收集光生载流子并导出电池,也就是形成晶体硅太阳能电池的正负极。网版的丝网由经线和纬线交织而成,经纬线的交叉点称为网结,网结的出现会影响到透墨量和印刷的平整度。因此,目前市场上使用较多的晶体硅电池印刷网版为无网结网版。

SE晶体硅电池(SE—seletiveemitter),是选择性发射极晶体硅太阳能电池,即在金属栅线(电极)与硅片接触部位进行重掺杂,在电极之间位置进行轻掺杂。这样的结构可以降低扩散层复合,由此可以提高光线的短波效应,同时减少前金属电极与硅的接触电阻,使得短路电流、开路电压和填充因子都得到较好的改善,从而提高转换效率。

SE晶体硅电池片印刷工艺,要求无网结网版的图形必须标准化设计,细栅线为直线且间距相等,通常采取丝网切割抽丝的方法,扩大网版丝网的网格宽度,使电池片图形的细栅能够均匀地分布在网版丝网的网格中间,满足细栅间距均等的要求。现有SE无网结网版工艺,一般采用定制抽丝的钢丝网或钢丝网激光切割抽丝的方法,目前钢丝网直线度的水平在100μm左右,受钢丝网直线度的影响,通常会抽丝2-3根才能满足直线细栅排列在网格之内,但是抽丝数量多,加上激光切割的热影响,会降低钢丝网的强度,影响网版使用寿命。

需要说明的是,上述内容属于发明人的技术认知范畴,并不必然构成现有技术。

发明内容

为了解决上述问题,本发明的目的是提供一种SE无网结网版视觉检测蚀刻除丝方法,通过蚀刻方法去除网版的网丝,没有激光切割的热影响,避免了钢丝网强度的损失,提升网版使用寿命,不受激光设备的加工时间影响,生产效率高,实用性强,适合推广应用。

为实现上述目的,本发明提出了一种SE无网结网版视觉检测蚀刻除丝方法,包括以下步骤:

S1:将网版在恒温条件下充分静置,然后使用视觉扫描设备扫描网版的丝网,获得网版丝网图像;

S2:将网版丝网图像与电池片标准细栅图像进行比对,并对网版丝网图像上与电池片标准细栅图像的细栅线相重叠的网丝进行蚀刻标记,得到网版丝网蚀刻标记图;

S3:将网版丝网蚀刻标记图转绘制成菲林图;

S4:在网版的丝网表面覆盖感光材料,然后将菲林图贴于网版的丝网表面,对网版进行曝光,得到蚀刻印刷版;

S5:将蚀刻印刷版放置于显影液中进行显影,蚀刻印刷版上对应于未被标记网丝的感光材料被曝光留在网版丝网上形成保护层,对应于被标记网丝的感光材料没有曝光被显影掉,露出被标记的网丝,得到蚀刻版;

S6:将蚀刻版放置于蚀刻液中进行蚀刻处理,将露出的网丝蚀刻断,得到已蚀刻网版;

S7:将已蚀刻网版放置于清洗液中进行清洗,去除清理丝网表面的保护层和被蚀刻断的网丝,得到SE无网结网版半成品。

在一个示例中,所述步骤S1中使用的视觉扫描设备的扫描误差≤2μm,重复精度≤2μm。

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