[发明专利]一种利用聚焦离子束提取透射电镜样品的装置

权利要求书

1.一种利用聚焦离子束提取透射电镜样品的装置，其特征在于，包括设置在旋转底座上表面的提取装置主体(1)，包括提取装置主体(1)，提取装置主体(1)底部为圆盘结构，所述的提取装置主体(1)顶部为水平结构(5)，圆盘结构上方的水平结构(5)一侧设置有固定块(2)，另一侧为竖直结构(4)，固定块(2)与提取装置主体(1)之间放置有FIB载网(3)。

2.根据权利要求1所述的一种利用聚焦离子束提取透射电镜样品的装置，其特征在于，所述的提取装置主体(1)与固定块(2)接触侧设置有用于放置FIB载网(3)的弧形FIB载网槽(8)，弧形FIB载网槽(8)下方设置有用于固定内六角紧固螺钉的螺孔(7)。

3.根据权利要求1所述的一种利用聚焦离子束提取透射电镜样品的装置，其特征在于，所述的弧形FIB载网槽(8)位于提取装置主体(1)轴心一侧，靠近边缘。

4.根据权利要求1所述的一种利用聚焦离子束提取透射电镜样品的装置，其特征在于，所述的水平结构(5)用于承载厚度小于3mm的样品，对于厚度大于等于3mm的样品，粘在竖直结构(4)上。

5.根据权利要求1所述的一种利用聚焦离子束提取透射电镜样品的装置，其特征在于，所述的固定块(2)包括用于固定FIB载网(3)的弧形凸起(9)和用于穿过内六角紧固螺钉的圆孔(10)。

6.根据权利要求5所述的一种利用聚焦离子束提取透射电镜样品的装置，其特征在于，所述的内六角紧固螺钉螺杆的直径小于圆孔(10)的直径，内六角紧固螺钉头的直径大于圆孔(10)的直径。

7.根据权利要求1所述的一种利用聚焦离子束提取透射电镜样品的装置，其特征在于，所述的固定块(2)的水平长度大于提取装置主体(1)与固定块(2)贴合面的长度。

8.根据权利要求1所述的一种利用聚焦离子束提取透射电镜样品的装置，其特征在于，所述的固定块(2)的最高处不高于提取装置的水平结构(5)。