[发明专利]孪生负载中频交流PECVD沉积DLC涂层的方法

权利要求书

1.孪生负载中频交流PECVD沉积DLC涂层的方法，其特征是，包括：

真空腔内布置第一组工件和第二组工件，第一组工件中所有工件电连接，第二组工件中所有工件电连接；所述第一组工件和所述第二组工件中的工件数量均为n，且所述第一组工件和所述第二组工件的相对位置关系应满足条件：通过对第一组工件进行旋转或平移，可使第一组工件和第二组工件有规律地重合；

以中频交流电源为等离子体激发源，所述中频交流电源的两极分别连接第一组工件和第二组工件；

对真空腔抽真空并通入源气体，开启中频交流电源，采用PECVD在工件上沉积DLC涂层；

通过对第一组工件进行旋转，可使第一组工件和第二组工件有规律地重合，具体为：

将2n个工件等间距地布置成以真空腔中心轴为中心的圆形，选定任一工件为起点，按同一方向对2n个工件顺次编号，奇数编号的工件电相连作为第一组工件，偶数编号的工件电相连作为第二组工件；

通过对第一组工件进行平移，可使第一组工件和第二组工件有规律地重合，具体为：

将2n个工件平行且等间距地布置于真空腔内，并顺序编号；奇数编号的工件电相连作为第一组工件，偶数编号的工件电相连作为第二组工件。

2.如权利要求1所述的孪生负载中频交流PECVD沉积DLC涂层的方法，其特征是：

所述工件为手机盖板。

3.如权利要求1所述的孪生负载中频交流PECVD沉积DLC涂层的方法，其特征是：

所述工件为手表壳。