[发明专利]用于谐振改善的多层执行器电极构型在审
| 申请号: | 202010644525.4 | 申请日: | 2020-07-07 |
| 公开(公告)号: | CN112201280A | 公开(公告)日: | 2021-01-08 |
| 发明(设计)人: | 张泷;余坤祺;D·格莱斯;P·苏达春;E·潘考乌 | 申请(专利权)人: | 马格内康普公司 |
| 主分类号: | G11B5/48 | 分类号: | G11B5/48;H01L41/047;H01L41/09 |
| 代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 蔡洪贵 |
| 地址: | 美国加*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 谐振 改善 多层 执行 电极 构型 | ||
1.一种压电致动器组件,包括:
第一单个有源压电层,所述第一单个有源压电层包括顶表面和底表面;
第二单个有源压电层,所述第二单个有源压电层包括顶表面以及布置在所述第一单个有源压电层的顶表面上的底表面;以及
第三单个有源压电层,所述第三单个有源压电层包括顶表面以及布置在所述第二单个有源压电层的顶表面上的底表面,
所述第一单个有源压电层和所述第二单个有源压电层的第一有效电极长度,以及
所述第二单个有源压电层和所述第三单个有源压电层的第二有效电极长度,所述第二有效电极长度被构造成比所述第一有效电极长度长。
2.根据权利要求1所述的压电致动器组件,其特征在于,第一电极被布置在所述第一单个有源压电层的底表面的至少一部分上,
第二电极被布置在所述第一单个有源压电层的至少一部分与所述第二单个有源压电层之间,以及
所述第一电极和所述第二电极的共同长度限定所述第一有效电极长度。
3.根据权利要求1所述的压电致动器组件,其特征在于,第三电极设被布置在所述第二单个有源压电层的至少一部分与所述第三单个有源压电层之间,
第四电极被布置在所述第三单个有源压电层的顶表面的至少一部分上,以及
所述第三电极和所述第四电极的共同长度限定所述第二有效电极长度。
4.根据权利要求1所述的压电致动器组件,其特征在于,所述第二有效电极长度比所述第一有效电极长度长0.02mm。
5.根据权利要求1所述的压电致动器组件,其特征在于,所述第一有效电极长度是0.59mm。
6.根据权利要求1所述的压电致动器组件,其特征在于,所述第二有效电极长度是0.61mm。
7.一种悬架,包括:
被安装到负载梁的挠曲件;
被安装到所述挠曲件的电路;
被连接到所述电路的至少一个多层压电致动器组件,所述多层压电致动器组件中的每个包括:
第一单个有源压电层,所述第一单个有源压电层包括顶表面和底表面;
第二单个有源压电层,所述第二单个有源压电层包括顶表面以及布置在所述第一单个有源压电层的顶表面上的底表面;以及
第三单个有源压电层,所述第三单个有源压电层包括顶表面以及布置在所述第二单个有源压电层的顶表面上的底表面,
所述第一单个有源压电层和所述第二单个有源压电层的第一有效电极长度,以及
所述第二单个有源压电层和所述第三单个有源压电层的第二有效电极长度,所述第二有效电极长度被构造成比所述第一有效电极长度长。
8.根据权利要求7所述的悬架,其特征在于,第一电极被布置在所述第一单个有源压电层的底表面的至少一部分上,
第二电极被布置在所述第一单个有源压电层的至少一部分与所述第二单个有源压电层之间,以及
所述第一电极和所述第二电极的共同长度限定所述第一有效电极长度。
9.根据权利要求7所述的悬架,其特征在于,第三电极设被布置在所述第二单个有源压电层的至少一部分与所述第三单个有源压电层之间,
第四电极被布置在所述第三单个有源压电层的顶表面的至少一部分上,以及
所述第三电极和所述第四电极的共同长度限定所述第二有效电极长度。
10.根据权利要求7所述的悬架,其特征在于,所述第二有效电极长度比所述第一有效电极长度长0.02mm。
11.根据权利要求7所述的悬架,其特征在于,所述第一有效电极长度是0.59mm。
12.根据权利要求7所述的悬架,其特征在于,所述第二有效电极长度是0.61mm。
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