[发明专利]电容系统及其制备方法

权利要求书

1.一种电容系统，其特征在于，包括依次层叠的第一晶圆、介质层、第一静电极层、动电极层和第二晶圆；

所述动电极层包括设置在所述第一静电极层上的动电极块，所述动电极块与所述第一静电极层在竖直方向上分离，从而使得所述动电极块可相对于所述第一静电极层在水平方向上来回运动；

所述第一静电极层设有第一绝缘空腔，所述第一绝缘空腔位于所述动电极块的下方，所述第一绝缘空腔将所述第一静电极层在水平方向上分隔；或者，所述动电极块上设有绝缘空腔，所述绝缘空腔将所述动电极块在水平方向上分隔。

2.根据权利要求1所述的电容系统，其特征在于，所述动电极块包括层叠在所述第一静电极层上的第一长块以及层叠在所述第一长块上的短块，所述第一长块的宽度大于所述短块的宽度。

3.根据权利要求2所述的电容系统，其特征在于，所述短块位于在所述第一长块的宽度方向的中间区域的上方。

4.根据权利要求2所述的电容系统，其特征在于，所述动电极块还包括层叠在所述短块上的第二长块，所述第二长块的宽度大于所述短块的宽度。

5.根据权利要求4所述的电容系统，其特征在于，所述短块位于所述第二长块的宽度方向的中间区域的下方。

6.根据权利要求4所述的电容系统，其特征在于，所述第一长块的宽度和所述第二长块的宽度相同。

7.根据权利要求1所述的电容系统，其特征在于，所述动电极层上设有电隔离槽，所述动电极块设置在所述电隔离槽内，并且所述电隔离槽和所述动电极块之间填充有所述绝缘材料。

8.根据权利要求7所述的电容系统，其特征在于，所述动电极块在长度方向上具有相对的第一端和第二端，所述第一端和所述第二端均设置在所述电隔离槽内。

9.根据权利要求8所述的电容系统，其特征在于，所述第一端的宽度和所述第二端的宽度均大于所述动电极块的中间的宽度。

10.根据权利要求1所述的电容系统，其特征在于，所述第一绝缘空腔内设有绝缘材料或空气；或者，所述绝缘空腔内设有绝缘材料或空气。

11.根据权利要求1所述的电容系统，其特征在于，所述第一绝缘空腔设置在所述动电极块的宽度方向的中间区域的下方；或者，所述绝缘空腔设置在所述动电极块的宽度方向的中间区域。

12.根据权利要求1－11中任意一项所述的电容系统，其特征在于，所述电容系统还包括设置在所述动电极层和所述第二晶圆之间的第二静电极层。

13.根据权利要求12所述的电容系统，其特征在于，所述第一静电极层设有第一绝缘空腔时，所述第二静电极层设有第二绝缘空腔，所述第二绝缘空腔位于所述动电极块的上方，所述第二绝缘空腔用于将所述第二静电极层在水平方向上分隔。

14.根据权利要求13所述的电容系统，其特征在于，所述第二绝缘空腔内设有绝缘材料或空气；或者，所述第二绝缘空腔设置在所述动电极块的宽度方向的中间区域的上方。