[发明专利]氟树脂成形体

说明书

一种在流体设备中使用且具有呈环状的密封部(10)的氟树脂成形体，其中，所述密封部由在氟树脂成形体被组装于流体设备时承受压缩载荷的方向上排列的突起部(14)和支承部(12)构成。

技术领域

本发明涉及一种具有密封部的氟树脂成形体。

背景技术

在半导体制造中使用的阀装置等中，使用超纯水、臭氧水等腐蚀性流体，因此，从耐腐蚀性的观点出发，有时会利用氟树脂构成密封部。

例如，在日本特开2015-94409号公报中，记载有阀装置的隔膜由氟树脂构成的技术。该隔膜的外缘部被夹持在构成致动器部的一部分的保持部与设置于主体的隔膜保持部之间。

由氟树脂构成的密封部在施加密封所需要的力时，不仅伴随弹性变形，还伴随塑性变形。因此，与不发生塑性变形的橡胶材质的情况不同，不容易维持良好的密封性。

发明内容

本发明用于解决这样的课题，其目的在于提供一种具有可以长期进行稳定的密封的密封部的氟树脂成形体。

本发明所涉及的氟树脂成形体在流体设备中使用且具有呈环状的密封部，其中，密封部由氟树脂成形体被组装于流体设备时在承受压缩载荷的方向上排列的突起部和支承部构成。

根据上述氟树脂成形体，密封部在规定方向上承受压缩载荷，因此突起部发生塑性变形而填埋与对方构件的间隙，并且支承部发生弹性变形而确保基于其反作用力的密封压力，因此，能够长期进行稳定的密封。

本发明所涉及的氟树脂成形体的密封部由在氟树脂成形体被组装于流体设备时承受压缩载荷的方向上排列的突起部和支承部构成，因此能够长期发挥稳定的密封性。

对于上述的目的、特征及优点，通过参照附图说明的以下的实施方式的说明而容易理解。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式所涉及的密封部的剖视图。

图2是比较对图1的密封部施加压缩载荷的前后和释放了该压缩载荷时的密封部的高度的图。

图3是基于实测数据示出图1的密封部的恢复率的经时变化的图。

图4是基于实测数据及推测示出图1的密封部的恢复率的经时变化的图。

图5是本发明的第二实施方式所涉及的密封部的剖视图。

图6是本发明的第三实施方式所涉及的密封部的剖视图。

图7是本发明的第四实施方式所涉及的密封部的剖视图。

图8是表示具有图6的密封部的氟树脂成形体的应用例的装置的局部剖视图。

图9是图8的A部放大图。

图10是表示具有将图5和图7组合的形式的密封部的氟树脂成形体的应用例的装置的局部剖视图。

图11是图10的B部放大图。

具体实施方式

本发明的氟树脂成形体具有环状的密封部。在此，“具有密封部的氟树脂成形体”当然包含与密封功能直接相关的密封部构成氟树脂成形体的一部分的情况，但也包含氟树脂成形体的全部实质上为密封部的情况。作为前者的例子，能够例举外周缘固定于流体设备的隔膜阀芯，作为后者的例子，能够例举所谓的密封环。

以下，对于本发明所涉及的氟树脂成形体的密封部，举出优选的实施方式而参照附图进行说明。

(第一实施方式)

关于本发明所涉及的氟树脂成形体的密封部的第一实施方式，参照图1～图4进行说明。