[发明专利]激光分束器栅线垂直度检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 202010625999.4 | 申请日： | 2020-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN111780721B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 何兵;刘美忠;杨依枫;王汉斌;李炳霖;咸昱桥;邹星星 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01C9/00 | 分类号： | G01C9/00;G01C9/02 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 分束器栅线 垂直 检测 装置 方法 | ||
1.一种激光分束器栅线垂直度检测装置，其特征在于，包括激光光源(101)、分束镜(102)、反射镜(103)、缩束器(106)、成像系统(110)和图像探测系统(111)；
所述的激光光源(101)发射准直的单频激光，经所述的分束镜(102)分束成强度相近的透射光(104)和反射光(105)，所述的透射光作为检测光入射到缩束器(106)，所述的反射光作为参考光，经反射镜(103)反射后，入射到缩束器(106)；
沿缩束器(106)的输出光传播方向同光轴依次放置待检测激光分束器(107)、成像系统(110)和图像探测系统(111)；所述的待检测激光分束器(107)的表面与所述的参考光和检测光所构成的平面平行；所述的图像探测系统(111)放置在成像系统(110)的像点位置。
2.根据权利要求1所述的激光分束器栅线垂直度检测装置，其特征在于所述的图像探测系统(111)用于读取光斑位置信息。
3.利用权利要求1所述的激光分束器栅线垂直度检测装置检测激光分束器栅线垂直度方法，其特征在于包括下列步骤：
1)通过图像探测系统(111)分别读取检测光衍射光束组(108)和参考光衍射光束组(109)的绝对坐标；
2)分别在检测光衍射光束组(108)和参考光衍射光束组(109)中选取任意两个衍射光束的坐标点作为计算点，设检测光衍射光束组(108)的两个坐标点为(xT,1，yT,1)和(xT,2，yT,2)，参考光衍射光束组(109)的两个坐标点为(xC,1，yC,1)和(xC,2，yC,2)；
3)基于四个坐标点计算栅线倾斜角β，公式如下：
4)计算激光分束器栅线垂直度0.5π-β。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海光学精密机械研究所，未经中国科学院上海光学精密机械研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010625999.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
