[发明专利]一种光学微腔型声波探测器

权利要求书

1.一种光学微腔型声波探测器，其特征在于，包括：感声层、隔离层、贵金属层、缝隙、光源、光接收器，所述隔离层置于所述感声层上，所述贵金属层置于所述隔离层上，所述缝隙周期性地置于所述贵金属层中；应用时，所述感声层接收待测声波，所述光源发出连续谱光、照射所述贵金属层，所述光接收器接收从所述贵金属层反射的光，通过所述贵金属层的反射光谱确定待测声波。

2.如权利要求1所述的光学微腔型声波探测器，其特征在于：所述缝隙沿所述贵金属层的法线方向。

3.如权利要求1所述的光学微腔型声波探测器，其特征在于：所述缝隙与所述贵金属层法线方向的夹角大于0度、小于90度。

4.如权利要求3所述的光学微腔型声波探测器，其特征在于：所述缝隙与所述贵金属层法线方向的夹角大于5度、小于60度。

5.如权利要求1-4任一项所述的光学微腔型声波探测器，其特征在于：所述贵金属层的材料为金、银、铂。

6.如权利要求5所述的光学微腔型声波探测器，其特征在于：所述贵金属层的厚度大于200纳米，所述缝隙的宽度大于20纳米、小于60纳米。

7.如权利要求6所述的光学微腔型声波探测器，其特征在于：所述隔离层的材料为金、银、铂。

8.如权利要求7所述的光学微腔型声波探测器，其特征在于：所述隔离层的厚度大于40纳米、小于200纳米。

9.如权利要求8所述的光学微腔型声波探测器，其特征在于：在所述隔离层一端，所述缝隙的宽度大；在远离所述隔离层一端，所述缝隙的宽度小。

10.如权利要求9所述的光学微腔型声波探测器，其特征在于：所述感声层的材料为石英晶体。