[发明专利]N型电池正面SE结构的制备方法在审
| 申请号： | 202010619097.X | 申请日： | 2020-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN111739958A | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 瞿辉;曹玉甲;杨松波;张强;袁玲;杨三川 | 申请（专利权）人： | 江苏顺风光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/0288 | 分类号： | H01L31/0288;H01L31/0224;H01L31/0236;H01L31/18 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 朱晓凯 |
| 地址： | 213123 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电池 正面 se 结构 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种N型电池正面SE结构的制备方法，其特征在于包括如下步骤：
S1：制绒；
S2：氧化：在硅片表面生长一层60-80nm的氧化层；
S3：激光开槽：按照细栅线的图形位置在氧化层上进行激光开槽，使对应的氧化层消融，同时在消融后的硅表面在激光热量作用下形成一个厚度在5-7nm的热氧化层；
S4：硼扩散。
2.根据权利要求1所述的N型电池正面SE结构的制备方法，其特征在于：步骤S2中所述氧化层厚度为70-75nm。
3.根据权利要求1所述的N型电池正面SE结构的制备方法，其特征在于：步骤S3中所述激光开槽采用激光器进行，所述激光器功率控制在12-14W。
4.根据权利要求1所述的N型电池正面SE结构的制备方法，其特征在于：步骤S4中所述硼扩散的扩散温度控制在950℃-980℃。
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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