[发明专利]微机电系统结构的调控方法及装置

权利要求书

1.一种微机电系统结构的调控方法，其特征在于，包括：

获取微机电系统中微结构的当前面型以及微机电系统的当前谐振频率；

获取目标面型及目标谐振频率，并根据所述当前面型及所述目标面型、所述当前谐振频率及所述目标谐振频率确定矫正位置与矫正值；所述矫正位置为微机电系统面型产生变形的位置，矫正值为目标面型和当前面型的差值；根据所述矫正值调整多个微加热器组成的阵列，并确定微加热器中每个导热硅柱的通电电流/电压；

根据矫正位置及矫正值调整导热硅柱的位置及长度，通过所述微加热器中的薄膜电阻加热器，根据矫正值确定每个导热硅柱的通电电流/电压；

根据调整后的多个微加热器阵列及确定的电流/电压，对所述微结构的当前面型进行矫正，对所述当前面型进行迭代矫正，直到所述当前面型与所述目标面型的差值小于预置误差范围内。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，获取微机电系统中微结构的当前面型以及微机电系统的当前谐振频率包括：

通过激光干涉仪测试微结构的当前面型，包括中心凸起型、中心凹陷型、马鞍型中的任一种；

通过模态测试系统对微机电系统实时监测谐振频率，确定当前谐振频率。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述薄膜电阻加热器的表面设有聚合物驱动结构层，且导热硅柱内嵌于聚合物驱动结构层的内部。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

待所述薄膜电阻加热器通电后，将所述微机电系统中微结构加热并维持在预设恒定温度范围。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

多个微加热器组成的阵列为环形、线形和放射形中的任一种。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，在根据所述矫正值调整多个微加热器组成的阵列，并确定微加热器中每个导热硅柱的通电电流/电压之前，所述方法还包括：

根据所述矫正位置，激活所述微加热器组成的阵列中与所述矫正位置对应的薄膜电阻加热器及导热硅柱。

7.一种微机电系统结构的调控装置，其特征在于，包括：

第一获取单元，用于获取微机电系统中微结构的当前面型以及微机电系统的当前谐振频率；

第二获取单元，用于获取目标面型及目标谐振频率；

第一确定单元，用于根据所述当前面型及所述目标面型、所述当前谐振频率及所述目标谐振频率确定矫正位置与矫正值；所述矫正位置为微机电系统面型产生变形的位置，矫正值为目标面型和当前面型的差值；

调整单元，用于根据所述矫正值调整多个微加热器组成的阵列，还用于根据矫正位置及矫正值调整导热硅柱的位置及长度，通过所述微加热器中的薄膜电阻加热器，根据矫正值确定每个导热硅柱的通电电流/电压；

矫正单元，用于根据调整后的多个微加热器阵列及确定的电流/电压，对所述微结构的当前面型进行矫正，对所述当前面型进行迭代矫正，直到所述当前面型与所述目标面型的差值小于预置误差范围内。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述第一获取单元包括：

第一测试模块，用于通过激光干涉仪测试微结构的当前面型，包括中心凸起型、中心凹陷型、马鞍型中的任一种；

第二测试模块，用于通过模态测试系统对微机电系统实时监测谐振频率，确定当前谐振频率。