[发明专利]用于基板处理装置的温度控制组件及其使用方法

权利要求书

1.一种组件，其包括：

气体供应单元；

安装在气体供应单元上的气帘，其中，所述气帘包括凹陷部分和布置在所述凹陷部分上的多个销；

覆盖所述气体供应单元的绝缘体；

覆盖所述绝缘体的防护盖，其中，所述防护盖包括在竖直方向上的多个孔、在横向方向上的多个孔、或两者兼有；以及

流体地联接到所述气帘和所述防护盖之间的区域的排气单元，

其中，所述绝缘体由非导电材料形成并且包括在横向方向上的多个通孔。

2.根据权利要求1所述的组件，其还包括气体入口，所述气体入口延伸通过包括所述气帘和所述防护盖的堆叠结构的一部分。

3.根据权利要求2所述的组件，其中所述气体入口包括第一部分和第二部分，其中所述第二部分包括非导电材料，并且其中所述第二部分由所述气帘接收。

4.根据权利要求1所述的组件，其中所述多个销中的至少一个为柱形或筒形。

5.根据权利要求1所述的组件，其中所述多个销中的至少一个包括中空空间。

6.根据权利要求1所述的组件，其中所述多个销的每一个的高度不延伸超过所述气体供应单元的顶表面。

7.根据权利要求1所述的组件，其中所述多个销之间的间隔在从所述凹陷部分的中心到所述凹陷部分的周边的方向上大致恒定。

8.根据权利要求1所述的组件，其中靠近所述排气单元的所述气帘的表面不包括销。

9.根据权利要求1所述的组件，其中所述排气单元从所述气帘的凹陷部分排出流体。

10.根据权利要求9所述的组件，其中所述排气单元包括变速风扇。

11.根据权利要求1所述的组件，其中所述气体供应单元和所述气帘形成一体结构。

12.根据权利要求1所述的组件，其还包括覆盖所述防护盖的至少一部分的另一绝缘体。

13.根据权利要求1所述的组件，其中，所述多个通孔中的至少一个的横截面尺寸为1mm到12mm。

14.根据权利要求1所述的组件，其中，所述多个孔中的至少一个的横截面尺寸在尺寸上小于5mm。

15.一种组件，其包括：

气体供应单元；

安装在气体供应单元上的气帘，所述气帘包括凹陷部分，所述凹陷部分在其上包括多个销；

绝缘体，所述绝缘体由非导电材料形成，并在横向方向上包括通过其中的多个通孔，覆盖所述气体供应单元；以及

防护盖，所述防护盖包括在竖直方向上的多个孔、在横向方向上的多个孔、或两者兼有，覆盖所述绝缘体。

16.根据权利要求15所述的组件，其还包括流体地联接到所述凹陷部分的排气单元。

17.根据权利要求16所述的组件，其中所述排气单元包括风扇。

18.根据权利要求15所述的组件，其中所述多个通孔中的至少一个的横截面尺寸为1mm至12mm。

19.根据权利要求15所述的组件，其中所述多个孔中的至少一个的横截面尺寸在尺寸上小于5mm。