[发明专利]半导体设备和半导体设备的除氧方法

权利要求书

1.一种半导体设备，其特征在于，包括：

制程腔体，所述制程腔体具有除氧进口和除氧出口；

除氧管道，所述除氧管道分别与所述除氧出口和排气装置相连；

氧气检测装置，所述氧气检测装置包括氧气检测管路、转换球阀和氧传感器，所述氧气检测管路包括第一管路、第二管路和第三管路，所述第一管路、所述第二管路和所述第三管路并联设置且分别均与所述除氧管道和所述转换球阀相连，所述第一管路、所述第二管路和所述第三管路在所述除氧管道的气体流动方向上依次与所述除氧管道连通，所述氧传感器设在所述第三管路上；所述转换球阀被构造成：在除氧阶段，所述转换球阀连通所述第一管路和第二管路，在氧气检测阶段，所述转换球阀连通所述第一管路和第三管路。

2.根据权利要求1所述的半导体设备，其特征在于，所述氧气检测管路还包括第四管路，所述第四管路分别与所述转换球阀和除氧气体供给装置相连；所述转换球阀被构造成：在除氧阶段，所述转换球阀连通所述第三管路和所述第四管路，在氧气检测阶段，所述转换球阀阻挡所述第四管路。

3.根据权利要求2所述的半导体设备，其特征在于，所述转换球阀包括转换阀体和转换阀芯，所述转换阀体设有四个阀口，所述转换阀芯在第一位置和第二位置之间可转动地设在所述转换阀体内，所述第一管路、所述第二管路、所述第三管路和所述第四管路分别与所述四个阀口一一连接；所述转换阀芯位于所述第一位置时，连接所述第一管路的阀口与连接所述第二管路的阀口导通，且连接所述第三管路的阀口和连接所述第四管路的阀口导通；所述阀芯位于所述第二位置时，连接所述第一管路的阀口与连接所述第三管路的阀口导通。

4.根据权利要求3所述的半导体设备，其特征在于，所述转换阀芯内设有第一通道，所述转换阀芯位于所述第二位置时，通过所述第一通道连通连接所述第一管路的阀口和连接所述第三管路的阀口。

5.根据权利要求4所述的半导体设备，其特征在于，所述转换阀芯设有第二通道和第三通道；所述转换阀芯位于所述第一位置时，所述第二通道连通所述连接所述第一管路的阀口和所述连接所述第二管路的阀口，且所述第三通道连通所述连接所述第三管路的阀口和所述连接所述第四管路的阀口；所述转换阀芯位于所述第二位置时，位于所述第二通道侧的转换阀芯侧壁阻挡所述第二管路，位于所述第三通道侧的转换阀芯侧壁阻挡所述第四管路。

6.根据权利要求3所述的半导体设备，其特征在于，所述转换阀体的最大内径为所述氧气检测管路的最大内径的1.5-3倍。

7.根据权利要求3所述的半导体设备，其特征在于，所述转换球阀还包括阀轴和驱动装置，所述阀轴与所述转换阀芯相连，所述驱动装置驱动所述阀轴带动所述转换阀体活动。

8.根据权利要求1所述的半导体设备，其特征在于，所述转换阀芯和所述转换阀体采用耐腐蚀材料制成。

9.根据权利要求2所述的半导体设备，其特征在于，还包括设在所述第一管路上的第一控制阀、设在第二管路上的第二控制阀和设在所述第四管路上的第四控制阀。

10.根据权利要求9所述的半导体设备，其特征在于，所述第一控制阀、所述第二控制阀和所述第四控制阀均为止逆阀。

11.根据权利要求9所述的半导体设备，其特征在于，所述第一控制阀、所述第二控制阀和所述第四控制阀均邻近所述转换球阀设置。

12.根据权利要求1所述的半导体设备，其特征在于，所述氧传感器设在所述第三管路与所述转换球阀相连的一端且邻近所述转换球阀设置。