[发明专利]一种插片机分区域控制系统及控制方法

说明书

本发明公开了一种插片机分区域控制系统，包括花篮流转工位控制单元、硅片流转工位控制单元、机器人工位控制单元和横移工位控制单元；其中一个工位的控制单元为主控制单元，主控制单元的供电电源的输入端用于连接外部电源，主控制单元的供电电源的输出端则分别与其它各工位控制单元的电源相连；各工位控制单元之间相互通讯连接以形成环网。本发明还公开了一种控制方法，包括：在初始状态下，一键启动各个工位控制单元；在某个工位控制单元出现故障时，故障的工位控制单元跳出自动，进入故障状态，其他工位控制单元则不受影响；故障处理完成后，重新启动此工位控制单元，进入自动模式。本发明具有分区独立控制、测试以及运行效率高等优点。

技术领域

本发明主要涉及插片机技术领域，特指一种插片机分区域控制系统及控制方法。

背景技术

十管插片机是针对十管PECVD的配套设备，功能主要有两个，进料和出料。进料过程为花篮取片→机器人取片→石墨舟插片→送石墨舟进PE；出料过程为石墨舟出PE→石墨舟取片→机器人插片→花篮插片。

整个工艺的完成需要四个工位，花篮流转，硅片流转，机器人插取片，石墨舟横移。花篮流转工位由进满花篮，出满花篮，手动补空花篮，NG片进空花篮，NG片出满花篮，空花篮循环网带和缓存构成，设计的主要依据是针对客户是人工上料，还是AGV送料；硅片流转工位上层由花篮升降，伸缩传片，传片缓存，进出缓存升降，插取升降，NG片横移构成，下层有满花篮循环；机器人插取片由机器人和舟传输机构构成。石墨舟横移由横移机构和舟传输机构构成。

在整套式控制系统组装调试时，需整套设备供电、网络都组装完成后才能进行设备对点，以及测试工作；如果某工位出现故障会造成整台设备停机，切换到手动，处理完故障再开自动，大大降低了生产效率。同时某工位设备故障会造成设备整体停机，影响到正常工位的工作，降低了工作效率，产量大大折扣，如果出现需重新初始化的故障，耽误的时间会更多，还需人工清理整台设备的当前状态，费时费力，严重影响设备产能。另外整体停机后，可能需要对设备整体初始化，费时费人工。

发明内容

本发明要解决的技术问题就在于：针对现有技术存在的技术问题，本发明提供一种运行效率高的插片机分区域控制系统及控制方法。

为解决上述技术问题，本发明提出的技术方案为：

一种插片机分区域控制系统，包括花篮流转工位控制单元、硅片流转工位控制单元、机器人工位控制单元和横移工位控制单元；其中一个工位的控制单元为主控制单元，所述主控制单元的供电电源的输入端用于连接外部电源，所述主控制单元的供电电源的输出端则分别与其它各工位控制单元的电源相连；各工位控制单元之间相互通讯连接以形成环网。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述主控制单元的供电电源的输入端与外部电源之间设置有总急停开关；所述主控制单元的供电电源的输出端与其它各工位控制单元的电源之间设置有独立急停开关。

所述主控制单元连接有触摸屏。

各工位控制单元之间通过PN网线连接。

本发明还公开了一种基于如上所述的插片机分区域控制系统的控制方法，包括：

在初始状态下，一键启动各个工位控制单元；

在某个工位控制单元出现故障时，故障的工位控制单元跳出自动，进入故障状态，其他工位控制单元则不受影响；

故障处理完成后，重新启动此工位控制单元，进入自动模式。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述花篮流转工位控制单元、硅片流转工位控制单元、机器人工位控制单元和横移工位控制单元各自对应独立的控制指令以及独立的运行状态显示。