[发明专利]张网机台在审
| 申请号： | 202010594558.2 | 申请日： | 2020-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN111755631A | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 张新建;万永超 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;H01L51/00 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 李新干 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 机台 | ||
1.一种张网机台，其特征在于，所述张网机台包括：
机台本体，所述机台本体具有一承载表面，所述承载表面用于承载掩膜框架；
多个凹槽孔，所述凹槽孔设置在所述机台本体的所述承载表面，部分所述凹槽孔的底部开设有气孔；以及
框架间距传感器，所述框架间距传感器设置在部分所述凹槽孔内，所述框架间距传感器用于测量所述掩膜框架的吹起高度。
2.根据权利要求1所述的张网机台，其特征在于，所述气孔间隔均匀地设置在部分所述凹槽孔内。
3.根据权利要求1所述的张网机台，其特征在于，所述框架间距传感器间隔均匀地设置在部分所述凹槽孔内。
4.根据权利要求1所述的张网机台，其特征在于，所述框架间距传感器的数量小于所述气孔的数量。
5.根据权利要求1所述的张网机台，其特征在于，所述机台本体呈框架式结构并由多条侧边围合而成，每条所述侧边所对应的所述承载表面均设置有多个所述凹槽孔。
6.根据权利要求5所述的张网机台，其特征在于，每条所述侧边所对应的所述承载表面设置的多个所述凹槽孔为多列排布，相同列的多个所述凹槽孔在所述侧边上的间距相同。
7.根据权利要求6所述的张网机台，其特征在于，每条所述侧边所对应的所述承载表面所设置的多个所述凹槽孔沿两列排布。
8.根据权利要求7所述的张网机台，其特征在于，设置在同一条所述侧边所对应的所述承载表面的多列所述凹槽孔的数量相等。
9.根据权利要求1所述的张网机台，其特征在于，所述凹槽孔为方形或圆形或菱形或球形。
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