[发明专利]槽体结构、清洗机器及清洗方法

说明书

本发明提供了一种槽体结构和清洗机器以及清洗方法，槽体结构包括：多个槽体板，多个槽体板相连接围成了第一内腔；隔离板，隔离板设置在第一内腔内，与第一内腔的腔壁连接；其中，隔离板将内腔隔离开，以形成相互隔离的第一腔体和第二腔体。通过本发明的技术方案，将清洗机器中的链轮和链条设置在第二腔体，由于第一腔体和第二腔体隔离而不连通，这样避免了链轮和链条配合时产生磨损颗粒进入到第一腔体(清洗腔)，以确保第一腔体内清洗液的纯净度，从而确保清洗机器的清洗效率。

技术领域

本发明涉及清洗设备技术领域，具体而言，涉及槽体结构、清洗机器及清洗方法。

背景技术

近些年来，半导体行业尤其国内产业蓬勃发展，芯片制程规格越来越精细，行业对晶圆清洗的洁净度要求也越来越高，相应地，对晶圆制作中使用的石英管的清洗要求同样重要，不容忽视。

相关技术中采用卧式清洗机器对石英管进行清洗，该清洗机器中的旋转机构一直浸泡于药液中，旋转结构旋转时，链条与链轮之间产生的磨损呈粉末状的颗粒，这样会影响清洗腔内的洁净度，从而影响石英管的清洗洁净度。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本发明的一个目的在于提供一种槽体结构。

本发明的另一个目的在于提供一种清洗机器。

为了实现上述目的，本发明的实施例提供了一种槽体结构，包括：多个槽体板，多个槽体板相连接围成了第一内腔；隔离板，隔离板设置在第一内腔内，与第一内腔的腔壁连接；其中，隔离板将第一内腔隔离开，以形成相互隔离的第一腔体和第二腔体。

在该技术方案中，将清洗机器中的链轮和链条设置在第二腔体，由于第一腔体和第二腔体隔离而不连通，这样避免了链轮和链条配合时产生磨损颗粒进入到第一腔体(清洗腔)，以确保了第一腔体内清洗液的纯净度，从而确保清洗机器的清洗效率。

另外，本发明提供的上述实施例中的槽体结构还可以具有如下附加技术特征：

在上述技术方案中，所述槽体结构还包括多个槽体连接板，多个所述槽体连接板与多个所述槽体板围成了第二内腔，所述第二内腔与所述第一内腔相连通。

在该技术方案中，由于第一内腔和第二内腔相连通，这样第一内腔内的清洗液能够流到第二内腔内进行排除，从而增强了槽体结构的排水能力。

在上述任一技术方案中，所述第一内腔的腔壁上设置有溢流口，所述第一内腔通过所述溢流口与所述第二内腔连接。

在该技术方案中，当第一内腔内的清洗液上升到一定高度时，在溢流口的作用下，第一内腔内的清洗液溢流到第二内腔内，这样便于控制第一内腔内清洗液的量，从而确保槽体结构能存储足够的清洗液对待清洗件进行清洗，另外，溢流口能够将多余的清洗液排放到第二内腔内进行排放。

在上述任一技术方案中，优选地，所述第一内腔的底部设置有第一排液口。

在该技术方案中，第一排液口为主要排液口排放第一内腔内的清洗液，第一排液口能够将第一内腔内的清洗液快速的排出，从而确保清洗机器能够正常地工作。

在上述任一技术方案中，优选地，所述第二内腔的底部设置有第二排液口。

在该技术方案中，第二排液口为辅助排液口排放第二内腔内的清洗液。这样第一排液口和第二排液口相配合，提高了槽体结构的排液能力，从而确保清洗机器能够正常地工作。

本发明第二方面的技术方案提供了一种清洗机器，所述清洗机器包括上述任一技术方案所述的槽体结构，所述第一内腔的腔壁包括侧壁和与所述侧壁连接的底壁，所述清洗机器还包括：

喷淋管和进水管，所述喷淋管和所述进水管间隔设置在所述侧壁上；