[发明专利]一种基于冷阴极的离子中和器有效

专利信息
申请号: 202010589321.5 申请日: 2020-06-24
公开(公告)号: CN111734593B 公开(公告)日: 2023-01-31
发明(设计)人: 袁学松;崔仲韬;鄢扬;李海龙;王彬;殷勇;蒙林 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: F03H1/00 分类号: F03H1/00
代理公司: 电子科技大学专利中心 51203 代理人: 甘茂
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 阴极 离子 中和
【权利要求书】:

1.一种基于冷阴极的离子中和器,包括:左阴极(1)、右阴极(2)、中心阳极(3)、介质支承层(4)及阳极外壳(5);其特征在于,所述介质支承层呈长方体状,所述左阴极、右阴极、中心阳极均固定于介质支承层上表面,所述左阴极、右阴极及中心阳极相互平行设置、且平行于介质支承层的长边方向;所述中心阳极位于介质支承层的中央,所述左阴极与右阴极关于中心阳极对称设置;所述中心阳极为横截面呈等腰梯形的金属棱台结构;所述左阴极与右阴极均为横截面呈直角梯形的金属棱台结构、且侧棱均为圆角结构,所述左阴极与右阴极的斜侧棱上设置有纳米冷阴极发射面、且纳米冷阴极发射面面向中心阳极;所述阳极外壳为一侧面开放的长方体外壳、其包覆于介质支承层外,并且所述介质支承层的上表面与阳极外壳的顶面之间预留间隙;所述阳极外壳的顶面中央位置开设U型孔。

2.按权利要求1所述基于冷阴极的离子中和器,其特征在于,所述左阴极、右阴极、中心阳极及阳极外壳均于阳极外壳开放侧接入可调电压。

3.按权利要求1所述基于冷阴极的离子中和器,其特征在于,所述介质支承层(4)为横截面呈“凹”字型的长方体,所述左阴极(1)、右阴极(2)与中心阳极(3)均设置于凹槽内。

4.按权利要求1所述基于冷阴极的离子中和器,其特征在于,所述中心阳极的侧棱同样采用圆角结构。

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