[发明专利]一种高亮金属的超快激光加工装置及加工方法在审
申请号: | 202010589111.6 | 申请日: | 2020-06-24 |
公开(公告)号: | CN111822880A | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 翟瑞;周志军;薛建熊;林小波;乔磊 | 申请(专利权)人: | 深圳中科光子科技有限公司 |
主分类号: | B23K26/38 | 分类号: | B23K26/38;B23K26/064;B23K26/70 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 魏毅宏 |
地址: | 518000 广东省深圳市光*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 金属 激光 加工 装置 方法 | ||
1.一种高亮金属的超快激光加工装置,其特征在于,包括:激光器模块、扩束镜、反射镜、扫描振镜模块、光束聚焦模块及用于承载待加工高亮金属的承载治具,所述承载治具上还设置有油光纸,所述待加工高亮金属的高亮面与所述油光纸接触,其中:
所述激光器模块发射的激光光束经所述扩束镜准直后进入所述反射镜,所述反射镜将入射的激光光束传输至所述扫描振镜模块,经所述扫描振镜模块扫描后的激光光束经所述光束聚焦模块聚集后由所述待加工高亮金属的亚光面入射对所述待加工高亮金属进行切割。
2.如权利要求1所述的高亮金属的超快激光加工装置,其特征在于,所述激光器模块为超快激光,其波段在355-532nm之间。
3.如权利要求1所述的高亮金属的超快激光加工装置,其特征在于,所述反射镜为两块45°反射镜。
4.如权利要求1所述的高亮金属的超快激光加工装置,其特征在于,所述扫描振镜模块为XY扫描振镜。
5.如权利要求1所述的高亮金属的超快激光加工装置,其特征在于,所述光束聚焦模块为远心场镜。
6.如权利要求1所述的高亮金属的超快激光加工装置,其特征在于,所述承载治具为陶瓷吸附板。
7.一种如权利要求1所述的高亮金属的超快激光加工装置的加工方法,其特征在于,包括下述步骤:
按所述高亮金属的超快激光加工装置搭建光路;
打开真空吸附,在所述承载治具上吸附所述油光纸;
将所述待加工高亮金属置于所述油光纸上,且使得所述待加工高亮金属的高亮面与所述油光纸接触;
开启光路且使得激光光束由所述待加工高亮金属的亚光面入射对所述待加工高亮金属进行切割;
关闭真空吸附,将所述待加工高亮金属从所述油光纸取出并超声波清洗,得到加工后的高亮金属。
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