[发明专利]半导体设备控制系统和系统监控方法

说明书

本发明实施例公开了半导体设备控制系统和系统监控方法，系统包括：上位机单元用于定时发送测试数据到下位机单元；根据是否发送成功确定下位机单元工作状态；下位机单元用于定时判断下位机测试状态值是否发生变化，进而确定上位机单元工作状态；下位机单元还用于定时发送测试数据到硬件控制单元，根据是否发送成功确定硬件控制单元工作状态；相邻发送的数据数值不同；硬件控制单元用于定时判断硬件控制测试状态值是否发生变化，进而确定下位机单元工作状态。该技术方案中，通过该系统能够在上位机单元与下位机单元之间，和/或，下位机单元与硬件控制单元之间双向监控另一方的工作状态，及时生成对应的警告信息，有效提高了系统安全性。

技术领域

本发明涉及半导体设备领域，尤其涉及一种半导体设备控制系统和系统监控方法。

背景技术

半导体设备的设备控制系统通常由上位机软件、下位机软件以及硬件控制单元三部分构成，参照说明书附图中的图2所示。上位机软件控制下位机软件，下位机软件控制多个硬件控制单元，各个硬件控制单元分别控制各个硬件设备。现有的技术方案中，上位机软件能够单向监控下位机软件的工作状态，下位机软件能够单向监控硬件控制单元的工作状态。

这种单向监控的方式存在的问题在于：当上位机软件异常退出，下位机软件照常执行原本的任务时，或，当下位机软件异常退出，硬件控制单元照常执行原本的任务时，被硬件控制单元控制的硬件设备难以修改运行方式或中止运行，失去控制，存在巨大的安全风险，可能造成严重的安全事故。

发明内容

本申请实施例的目的是提供一种半导体设备控制系统和系统监控方法，用于解决现有技术中半导体设备控制系统中上位机软件与下位机软件之间，以及下位机软件与硬件控制单元之间的单向监控存在严重的安全隐患的问题。

为解决上述技术问题，本申请实施例是这样实现的：

第一方面，本申请实施例提供一种半导体设备控制系统，包括：

上位机单元，用于按照第一时间周期通过在下位机单元预先建立的第一测试通道定时发送下位机测试数据到下位机单元；根据下位机测试数据是否发送成功，确定下位机单元的工作状态；其中，相邻的第一时间周期发送的下位机测试数据的数值不同；

下位机单元，用于按照第二时间周期定时判断下位机测试状态值是否发生变化，根据判断结果确定上位机单元的工作状态；下位机测试状态值，是将通过第一测试通道最近一次获取的下位机测试数据进行赋值得到的；

下位机单元，还用于按照第三时间周期通过在硬件控制单元预先建立的第二测试通道定时发送硬件控制测试数据到硬件控制单元；根据硬件控制测试数据是否发送成功，确定硬件控制单元的工作状态；相邻的第三时间周期发送的硬件控制测试数据的数值不同；

硬件控制单元，用于按照第四时间周期定时判断硬件控制测试状态值是否发生变化，根据判断结果确定下位机单元的工作状态；硬件控制测试状态值，是将通过第二测试通道最近一次获取的硬件控制测试数据进行赋值得到的。

第二方面，本申请实施例提供一种系统监控方法，应用于如前述第一方面所述的半导体设备控制系统中的上位机单元，该方法包括：

按照第一时间周期通过在下位机单元预先建立的第一测试通道定时发送下位机测试数据到下位机单元；其中，相邻的第一时间周期发送的下位机测试数据的数值不同；

根据下位机测试数据是否发送成功，确定下位机单元的工作状态。

第三方面，本申请实施例提供一种系统监控方法，应用于如前述第一方面所述的半导体设备控制系统中的下位机单元，该方法包括：

按照第二时间周期定时判断下位机测试状态值是否发生变化；下位机测试状态值，是将最近一次获取的下位机测试数据进行赋值得到的；

根据判断结果确定上位机单元的工作状态。