[发明专利]一种加载型波导光调制器

权利要求书

1.一种加载型波导光调制器，其特征在于，包括：衬底、第一金属层、电致伸缩材料层、第二金属层、导波部；所述第一金属层置于所述衬底上，所述电致伸缩材料层置于所述第一金属层上，所述第二金属层置于所述电致伸缩材料层上，所述导波部设置在所述电致伸缩材料层中，所述导波部与所述第一金属层的距离小于100纳米；使用时，在所述第一金属层和所述第二金属层间施加电场，导致所述电致伸缩材料层形变，改变所述导波部与所述第一金属层之间的距离，从而改变加载型波导的传播特性。

2.如权利要求1所述的加载型波导光调制器，其特征在于：所述导波部具有圆形的截面。

3.如权利要求2所述的加载型波导光调制器，其特征在于：所述导波部的侧面还设有突出部。

4.如权利要求3所述的加载型波导光调制器，其特征在于：所述突出部为矩形，所述矩形的长边沿水平方向。

5.如权利要求1-4任一项所述的加载型波导光调制器，其特征在于：所述第一金属层与所述电致伸缩材料层中间的界面具有凸起的弧面，所述弧面的顶部位于所述导波部的正下面。

6.如权利要求5所述的加载型波导光调制器，其特征在于：所述导波部的材料为硅。

7.如权利要求6所述的加载型波导光调制器，其特征在于：所述第一金属层的材料为金。

8.如权利要求7所述的加载型波导光调制器，其特征在于：所述第二金属层的材料为金、银、铜。

9.如权利要求8所述的加载型波导光调制器，其特征在于：所述电致伸缩材料层的材料为锆钛酸铅陶瓷。

10.如权利要求9所述的加载型波导光调制器，其特征在于：所述第二金属层与所述导波部的距离大于1微米。