[发明专利]一种制备蓝宝石单晶用坩埚在审
| 申请号: | 202010567992.1 | 申请日: | 2020-06-19 |
| 公开(公告)号: | CN111778557A | 公开(公告)日: | 2020-10-16 |
| 发明(设计)人: | 张玉亮;宋旭波;李树新;王健;魏超;杜迎虎;吴庆华;王志岭;宋渤;曹学玲 | 申请(专利权)人: | 山东新升光电科技有限责任公司 |
| 主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C22C27/04;C23C30/00;C30B11/00 |
| 代理公司: | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人: | 于晓晓 |
| 地址: | 250000 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 制备 蓝宝石 单晶用 坩埚 | ||
本发明涉及一种蓝宝石单晶用装置的技术领域,具体来说,是一种制备蓝宝石单晶用坩埚,为钨坩埚,通过在坩埚外部设置凸肋用于分解坩埚的受热冷却的应力作用,增强坩埚的耐久性和强度,坩埚的厚度为5‑100mm,在保证质量的前提下,降低坩埚的材料成本,降低厚度,同时提交热传递效果,加热和降温效率都提高,另外,在钨坩埚内部设有涂层,涂层厚度为50‑150微米,涂层的材质为钨、钽、钼的复合材料,既起到增强作用,又提高了晶体的生长质量。
技术领域
本发明涉及一种蓝宝石单晶用装置的技术领域,具体来说,是一种制备蓝宝石单晶用坩埚。
背景技术
蓝宝石单晶,化学成分为氧化铝,化学式(α-Al2O3),是由三个氧原子和两个铝原子以共价键型式结合而成,其晶体结构为六方晶格结构。
人工蓝宝石的制作流程:准备原料→填充原料及架设晶种→炉体抽真空→炉体加热(炉体加入钼隔热屏和钨隔热屏)→原料熔化→熔接晶种→晶颈生长→晶体生长→晶体与坩埚分离→冷却→取出晶体。
在蓝宝石单晶的生长过程中,坩埚是关键且必要的部件,坩埚用于盛装原料,并且在单晶的生长过程中一直处于高温环境中,常用的用钨坩埚、钼坩埚等,坩埚的结构和材质以及涂层,对于单晶生长的质量以及晶体利用率等有非常关键的影响。
因此,研究一种结构合理、材质耐用的高质量坩埚,对蓝宝石的生长具有至关重要的意义。
发明内容
本发明提供一种结构合理、材质耐用的高质量坩埚,为钨坩埚,通过在坩埚外部设置凸肋用于分解坩埚的受热冷却的应力作用,增强坩埚的耐久性和强度,坩埚的厚度为5-100mm,在保证质量的前提下,降低坩埚的材料成本,降低厚度,同时提交热传递效果,加热和降温效率都提高,另外,在钨坩埚内部设有涂层,涂层厚度为50-150微米,涂层的材质为钨、钽、钼的复合材料,既起到增强作用,又提高了晶体的生长质量。
本发明的技术方案为:
一种制备蓝宝石单晶用坩埚,该坩埚为上部圆柱体,坩埚的底部为球冠状;在坩埚的外部侧壁上设置数个凸肋,凸肋的截面为半圆形;坩埚主体材质为钨,在坩埚的内部设置涂层,涂层厚度为50-150微米,涂层的材质为钨、钽、钼的复合材料。
进一步的,凸肋位于坩埚的中上部,该坩埚中上部采用圆柱体结构,设置凸肋后便于应力分散,提高强度,减少开裂现象。
进一步的,凸肋为2-4条,在坩埚的中上部均匀排列,均布更加受力均匀。
进一步的,坩埚的厚度为5-100mm,在保证质量的前提下,降低坩埚的材料成本,降低厚度,同时提交热传递效果,加热和降温效率都提高。
进一步的,涂层的中钨、钽、钼的重量比例为70:(1-5):(5-10),钽和钼的加入,能够提高坩埚的耐热性能,并且有利于提高晶体生长的质量。
进一步的,涂层的中钨、钽、钼的重量比例为70:(2-3):(6-8),钽和钼的加入,能够提高坩埚的耐热性能,并且有利于提高晶体生长的质量。
进一步的,所述的涂层中还含有氧化铝,进一步提高晶体生长的质量。
本发明的有益效果在于,
本发明的坩埚为钨坩埚,通过在坩埚外部设置凸肋用于分解坩埚的受热冷却的应力作用,增强坩埚的耐久性和强度,坩埚的厚度为5-100mm,在保证质量的前提下,降低坩埚的材料成本,降低厚度,同时提交热传递效果,加热和降温效率都提高,另外,在钨坩埚内部设有涂层,涂层厚度为50-150微米,涂层的材质为钨、钽、钼的复合材料,既起到增强作用,又提高了晶体的生长质量,进一步复合氧化铝,进一步提高晶体生长的质量。
附图说明
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