[发明专利]一种可调式微压水封装置及其调节方法

权利要求书

1.一种可调式微压水封装置，其特征在于，包括水封仓(5)和调压仓(6)，所述水封仓(5)上部与气源稳压装置连接，且所述气源稳压装置的出气口位于所述水封仓(5)内液面下方；所述水封仓(5)与补水系统连接；所述调压仓(6)内设有调压装置(14)，所述水封仓(5)下部与调压仓(6)通过调压装置(14)连通，所述调压仓(6)上设有排水阀(10)，所述排水阀(10)和补水系统保持常开，用于保持水封仓(5)的液位；通过所述调压装置(14)微调水封仓(5)内液面高度，用于微调水封仓(5)内液面上方的气体压力。

2.根据权利要求1所述的可调式微压水封装置，其特征在于，所述气源稳压装置为氮封阀组件(20)，所述氮封阀组件(20)将气源调压至设定的压力范围。

3.根据权利要求1所述的可调式微压水封装置，其特征在于，所述水封仓(5)上安装液位传感器，用于检测水封仓(5)内实际液位。

4.根据权利要求1所述的可调式微压水封装置，其特征在于，所述气源稳压装置的出气口处安装第一压力传感器(11)，所述水封仓(5)上部安装第二压力传感器(24)，用于检测水封仓(5)内液面上方的气体压力。

5.根据权利要求1所述的可调式微压水封装置，其特征在于，所述调压装置(14)包括上连接管(23)、下连接管(22)、伸缩节(19)和升降装置；所述伸缩节(19)两端分别与上连接管(23)和下连接管(22)连接，所述下连接管(22)一端固定在调压仓(6)底部。所述下连接管(22)通过连通管(21)与水封仓(5)下部连通；所述上连接管(23)与调压仓(6)内部导通；所述上连接管(23)一端与升降装置连接，通过升降装置控制伸缩节(19)的长度，实现微调水封仓(5)内液面高度。

6.根据权利要求5所述的可调式微压水封装置，其特征在于，所述升降装置为丝杆升降装置，所述丝杆升降装置上设有定位装置，用于锁定丝杆升降装置的提升高度。

7.根据权利要求5所述的可调式微压水封装置，其特征在于，所述调压装置(14)的调压范围为0-10000Pa，调压装置(14)调节压力偏差不超过5pa。

8.一种根据权利要求5所述的可调式微压水封装置的调节方法，其特征在于，包括如下步骤：

改变气源稳压装置的设定值，使气源稳压装置的出气口的压力值达到设定值；

通过升降装置改变伸缩节(19)的长度，使水封仓(5)内液面高度达到设定值；

通过第二压力传感器(24)确定水封仓5内液面上方的气体压力是否在误差范围，如果误差大于5pa，通过调节升降装置，用于使液面下降或上升，实现控制误差在5pa以内；

通过定位装置锁定升降装置。