[发明专利]密封元件的加工方法、密封元件及真空泵

说明书

本发明提供了一种密封元件的加工方法、密封元件及真空泵，其中，密封元件的加工方法，包括：通过平板模压进行一次硫化成型得到密封元件毛坯，一次硫化成型步骤满足：硫化温度在170℃‑180℃的范围内，硫化时间在5min‑20min的范围内，硫化压力在10Mpa‑20Mpa的范围内；去除密封元件毛坯的毛边；清洗去除毛边后的密封元件毛坯，得到清洗过的密封元件毛坯；清洗过的密封元件毛坯通过平板模压进行二次硫化成型得到密封元件中间件；对密封元件中间件进行冷却处理，以得到密封元件。本申请的技术方案有效地解决了相关技术中的O型圈在密封过程中，容易受到工作中气体的侵蚀而快速老化的问题。

技术领域

本发明涉及真空源领域，具体而言，涉及一种密封元件的加工方法、密封元件及真空泵。

背景技术

现有的真空泵是泛半导体行业、化工行业、医疗医药行业所必需的真空源设备。由于使用行业的特殊性，因此对真空泵的密封性要求非常严格。通常在真空泵的定子或者泵体的连接处多使用O型圈进行密封。

但是在使用O型圈密封过程中，容易受到工作中气体的侵蚀而快速老化，导致连接处泄露，影响设备的使用寿命。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种密封元件的加工方法、密封元件及真空泵，以解决相关技术中的O型圈在密封过程中，容易受到工作中气体的侵蚀而快速老化的问题。

为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种密封元件的加工方法，包括：通过平板模压进行一次硫化成型得到密封元件毛坯，一次硫化成型步骤满足：硫化温度在170℃-180℃的范围内，硫化时间在5min-20min的范围内，硫化压力在10Mpa-20Mpa的范围内；去除密封元件毛坯的毛边；清洗去除毛边后的密封元件毛坯，得到清洗过的密封元件毛坯；清洗过的密封元件毛坯通过平板模压进行二次硫化成型得到密封元件中间件；对密封元件中间件进行冷却处理，以得到密封元件。

进一步地，二次硫化成型步骤满足：硫化温度在200℃-260℃的范围内，硫化时间在4h-24h的范围内。

进一步地，对密封元件中间件进行冷却处理的时间在1h-1.5h的范围内。

进一步地，在得到密封元件步骤之后还包括：检测密封元件是否合格，合格的密封元件满足：密封元件的邵氏A硬度在75-80的范围内，密封元件的外观无缺胶、披风、气泡、缩水、熔接痕、气泡、条纹、翘曲、分层以及脱皮。

根据本发明的另一方面，提供了一种密封元件，密封元件根据上述的密封元件的加工方法得到，密封元件为密封圈，密封元件包括密封本体和设置在密封本体上的多个凸出部。

进一步地，密封元件的截面形状为上下对称结构或者左右对称结构。

进一步地，密封本体的内表面和外表面均为弧形面，密封元件的材质为氟橡胶或者全氟橡胶或者三元乙丙橡胶。

进一步地，密封元件包括元件内部和元件外部，元件外部包裹在元件内部的外侧，元件内部的材质为氟橡胶、全氟橡胶和三元乙丙橡胶中的任一种，元件外部的材质为氟橡胶、全氟橡胶和三元乙丙橡胶中的任一种，且元件内部的材质不同于元件外部的材质。

进一步地，密封元件包括第一部分和第二部分，第一部分和第二部分通过粘接或者焊接或者紧固件连接在一起；第一部分和第二部分的结构相同；第一部分的材质为氟橡胶、全氟橡胶和三元乙丙橡胶中的任一种，第二部分的材质为氟橡胶、全氟橡胶和三元乙丙橡胶中的任一种，且第一部分的材质不同于第二部分的材质。

根据本发明的另一方面，提供了一种真空泵，包括泵体组件，泵体组件包括定子主体、盖设在定子主体上的盖体以及位于定子主体和盖体之间的密封元件，定子主体上设置有密封槽，密封元件位于密封槽内，密封元件为上述的密封元件。