[发明专利]半导体工艺设备及其密封门机构

权利要求书

1.一种半导体工艺设备中的密封门机构，用于密封隔离所述半导体工艺设备的花篮装卸载区与机械手工作区，其特征在于，包括：导轨组件、驱动组件及密封组件；

所述导轨组件包括框架，所述框架的两侧均设置有路径导轨；

所述密封组件包括密封门及路径滚轮，所述密封门用于密封连通所述花篮装卸载区与所述机械手工作区的连通通道；所述密封门两侧均设置有所述路径滚轮，所述路径滚轮与所述路径导轨滑动配合；

所述驱动组件与所述密封门连接，用于驱动所述密封门相对于所述框架沿所述路径导轨滑动，所述路径滚轮滑动至所述路径导轨的端部时，所述密封门在所述路径导轨的导向作用下密封所述连通通道。

2.如权利要求1所述的密封门机构，其特征在于，所述框架包括框架顶板、框架侧板，所述框架顶板固定设置在所述花篮装卸载区与所述机械手工作区之间，所述框架顶板两侧各设置有一所述框架侧板，所述框架侧板上设置有所述路径导轨；

所述路径导轨包括直线部和弯曲部，所述直线部沿所述框架侧板的长度方向延伸，所述弯曲部一端与所述直线部连接，另一端朝所述连通通道的方向延伸，所述密封门在所述弯曲部的导向作用下密封所述连通通道。

3.如权利要求2所述的密封门机构，其特征在于，所述密封门包括：密封门板、密封门侧板，所述密封门板用于密封所述连通通道，所述密封门板两侧各设置有一所述密封门侧板，所述密封门侧板上设置有所述路径滚轮。

4.如权利要求3所述的密封门机构，其特征在于，所述驱动组件包括驱动架、驱动部，所述驱动部用于驱动所述驱动架，所述密封门设置在所述驱动架上；

所述驱动架包括驱动顶板、驱动底板、两个驱动侧板，所述两个驱动侧板上均设置有导向孔，所述密封门侧板上对应地设置有导向滚轮，所述导向滚轮与所述导向孔滑动配合，在所述路径滚轮滑动至所述弯曲部时，所述导向滚轮在所述导向孔的导向作用下使所述密封门密封所述连通通道。

5.如权利要求4所述的密封门机构，其特征在于，所述导向孔的一端朝远离所述连通通道的方向延伸，另一端沿所述驱动侧板的长度方向延伸，在所述路径滚轮滑动至所述弯曲部时，所述导向滚轮滑动至所述导向孔沿所述驱动侧板的长度方向延伸的一端。

6.如权利要求4所述的密封门机构，其特征在于，所述驱动侧板上还设置有限位滚轮，所述限位滚轮与所述框架侧板滑动配合，用于对所述驱动架进行限位。

7.如权利要求4所述的密封门机构，其特征在于，所述框架侧板上还设置有直线导轨，所述驱动侧板上还对应地设置有直线滚轮，所述直线滚轮与所述直线导轨滑动配合，用于对所述驱动架进行限位。

8.如权利要求4所述的密封门机构，其特征在于，所述驱动部包括驱动源、浮动接头，所述驱动源通过所述浮动接头与所述驱动架连接。

9.如权利要求4所述的密封门机构，其特征在于，所述导轨组件还包括罩板，所述罩板设置在所述框架上，用于防止杂质穿过所述导轨组件。

10.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括花篮装卸载区、机械手工作区以及如权利要求1至9的任一所述的密封门机构。