[发明专利]旋转承载盘结构及承载盘

权利要求书

1.旋转承载盘结构，应用于化学气相沉积工艺，包括旋转轴、用于承载衬底的承载盘，旋转轴与承载盘中心连接，以驱动承载盘旋转，其特征是，旋转轴包括轴体、隔热件，隔热件设在轴体与承载盘之间，以隔开轴体与承载盘，使轴体与承载盘不接触。

2.如权利要求1所述的旋转承载盘结构，其特征是，隔热件由陶瓷材料制成。

3.如权利要求2所述的旋转承载盘结构，其特征是，旋转轴还包括金属材料制成的连接件，连接件设在隔热件与承载盘之间，以连接承载盘。

4.如权利要求3所述的旋转承载盘结构，其特征是，轴体、隔热件、连接件通过至少两个螺钉连接固定。

5.如权利要求1所述的旋转承载盘结构，其特征是，承载盘底面中心设有连接盲孔，旋转轴与承载盘连接的连接部位的形状与连接盲孔的形状对应匹配，旋转轴的上述连接部位紧密嵌入连接盲孔，以实现旋转轴与承载盘的连接。

6.如权利要求5所述的旋转承载盘结构，其特征是，连接盲孔的横截面与所述连接部位的横截面均为圆形。

7.如权利要求5所述的旋转承载盘结构，其特征是，连接盲孔的横截面与所述连接部位的横截面均为多边形或椭圆形。

8.如权利要求5所述的旋转承载盘结构，其特征是，旋转轴还包括金属材料制成的连接件，连接件设在隔热件与承载盘之间，以连接承载盘，旋转轴与承载盘连接组装后，连接件完全嵌入连接盲孔内，隔热件封住连接盲孔的开口。

9.承载盘，应用于化学气相沉积工艺，用于承载衬底，用于给所述承载盘加热的热源位于所述承载盘下方，其特征是，所述承载盘的底面为非平面，以使承载盘底面不同区域与热源的距离不同。

10.如权利要求10所述的承载盘，其特征是，所述承载盘的底面设有圆环形凹槽，该凹槽以承载盘的中心为圆心，该凹槽的外边缘在承载盘的边缘内侧。