[发明专利]一种精准转移二维材料的方法及其应用

权利要求书

1.一种精准转移二维材料的方法，其特征在于：包括以下步骤：

(1)在衬底上获取二维材料；

(2)在步骤(1)所述的衬底上旋涂PMMA，加热使PMMA固化形成PMMA膜，使二维材料附着在PMMA膜下方；

(3)将附着有二维材料的PMMA膜与衬底分离，然后放置在去离子水中漂洗后，利用透明载体黏附PMMA膜并将其从去离子水中捞出；用透明载体捞出PMMA膜时，PMMA膜附着有二维材料的一面朝外；所述透明载体为PET；

(4)将附着有PMMA膜的透明载体倒贴在位移台的机械臂上，在显微镜下，移动机械臂将其转移至目标衬底的目标位置；待PMMA膜与透明载体间的水分蒸发完，即可取下透明载体；然后去除位于目标衬底上的PMMA膜，在目标衬底上仅留下转移的二维材料，即可实现二维材料的精准转移。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤(1)中，在衬底上获取二维材料的方法包括气相沉积法、机械剥离法。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤(2)中，所述加热的温度为80℃-120℃，加热的时间为5-10min。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤(3)中，将附着有二维材料的PMMA膜与衬底分离的方法有刻蚀法、电化学鼓泡分离法或超声鼓泡分离法。

5.如权利要求1-4任一项所述的方法在制备二维材料异质结中的应用，其特征在于：步骤(4)中，在目标衬底上预放另一种二维材料，使转移的二维材料定点与预放的另一种二维材料贴合，从而制备得到二维材料异质结；具体方法为：

(1)在衬底上获取二维材料；

(2)在步骤(1)所述的衬底上旋涂PMMA，加热使PMMA固化形成PMMA膜，使二维材料附着在PMMA膜下方；

(3)将附着有二维材料的PMMA膜与衬底分离，然后放置在去离子水中漂洗后，利用透明载体黏附PMMA膜并将其从去离子水中捞出；用透明载体捞出PMMA膜时，PMMA膜附着有二维材料的一面朝外；

(4)将附着有PMMA膜的透明载体倒贴在位移台的机械臂上，然后在目标衬底上预放另一种二维材料；在显微镜下，移动机械臂使附着在PMMA膜下的二维材料定点与目标衬底上的另一种二维材料贴合，待PMMA膜与透明载体间的水分蒸发完，即可取下透明载体；然后去除位于目标衬底上的PMMA膜，即完成二维材料异质结的制作。

6.如权利要求1-4任一项所述的方法在制备器件电极中的应用，其特征在于：步骤(4)中，在目标衬底上提前加工好底电极，使二维材料定点与底电极贴合，一步制备二维材料器件，具体方法为：

(1)在衬底上获取二维材料；

(2)在步骤(1)所述的衬底上旋涂PMMA，加热使PMMA固化形成PMMA膜，使二维材料附着在PMMA膜下方；

(3)将附着有二维材料的PMMA膜与衬底分离，然后放置在去离子水中漂洗后，利用透明载体黏附PMMA膜并将其从去离子水中捞出；用透明载体捞出PMMA膜时，PMMA膜附着有二维材料的一面朝外；

(4)将附着有PMMA膜的透明载体倒贴在位移台的机械臂上，然后在目标衬底上提前加工好底电极；在显微镜下，移动机械臂使附着在PMMA膜下的二维材料定点与目标衬底上的底电极贴合，待PMMA膜与透明载体间的水分蒸发完，即可取下透明载体；然后去除位于目标衬底上的PMMA膜，在目标衬底上只留下转移的二维材料与底电极制成的器件电极。