[发明专利]三层石墨烯及其制备方法在审
| 申请号： | 202010552539.3 | 申请日： | 2020-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN111606323A | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 邹定鑫;赵悦;刘松;张振生;俞大鹏 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | C01B32/186 | 分类号： | C01B32/186 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 郝文婷 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 三层 石墨 及其 制备 方法 | ||
1.一种三层石墨烯的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
提供金属衬底、固态碳源和气态碳源；
将所述金属衬底与所述固态碳源相接并容置于化学气相沉积反应系统中，通入所述气态碳源，通过化学气相沉积反应，在所述金属衬底表面生成三层石墨烯。
2.根据权利要求1所述三层石墨烯的制备方法，其特征在于，所述固态碳源是热分解温度为1050℃以下的固态碳源；和/或
所述固态碳源为工业石墨或煤焦油。
3.根据权利要求1所述三层石墨烯的制备方法，其特征在于，所述气态碳源为甲烷、乙烯、乙炔中的至少一种，或甲烷、乙烯、乙炔中的至少一种与氩气的混合气体。
4.根据权利要求3所述三层石墨烯的制备方法，其特征在于，所述气态碳源的通入流量为5sccm-10sccm。
5.根据权利要求1所述三层石墨烯的制备方法，其特征在于，所述金属衬底的材质为铜或含铜的合金；和/或
所述金属衬底的厚度为5μm-1000μm。
6.根据权利要求1-5任意一项所述三层石墨烯的制备方法，其特征在于，所述化学气相沉积反应的反应温度为900℃-1050℃；和/或
所述化学气相沉积反应的反应时间为1min-300min。
7.根据权利要求1-5任意一项所述三层石墨烯的制备方法，其特征在于，所述金属衬底经过进行升温处理和退火处理。
8.根据权利要求7所述三层石墨烯的制备方法，其特征在于，所述升温处理的温度为900-1050℃；和/或
所述升温处理在保护气氛下进行。
9.根据权利要求7所述三层石墨烯的制备方法，其特征在于，所述退火处理在保护气氛和还原性气体条件下进行；和/或
所述退火处理的时间为10min-400min。
10.一种三层石墨烯，其特征在于，所述三层石墨烯通过权利要求1-9任意一项所述三层石墨烯的制备方法制备得到，所述三层石墨烯的单晶横向尺寸为10μm-500μm。
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