[发明专利]一种用于显示基板的激光修复装置在审
| 申请号: | 202010548533.9 | 申请日: | 2020-06-16 |
| 公开(公告)号: | CN111816797A | 公开(公告)日: | 2020-10-23 |
| 发明(设计)人: | 朱鹏程;袁明峰;凌步军;赵有伟;冯高俊;滕宇;孙月飞;吕金鹏;冷志斌 | 申请(专利权)人: | 江苏亚威艾欧斯激光科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L27/32;G09F9/30 |
| 代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 杨苏云 |
| 地址: | 225600 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 显示 激光 修复 装置 | ||
本发明提供一种显示基板的激光修复方法、修复装置,修复方法包括:确定发光显示基板的缺陷种类;当缺陷种类为短路缺陷时,利用第一波长激光从引起所述短路缺陷的搭接部分的一侧以线条形式移动至所述搭接部分的另一侧,切割所述搭接部分,完成短路修复;当缺陷种类为异物缺陷时,利用第二波长激光去除异物所在的异物区域,完成异物修复。本发明的激光修复方法只对包含缺陷的局部区域进行修复,可以防止包含缺陷的像素整体受到损伤,改善显示基板的质量。
技术领域
本发明涉及一种用于显示基板的激光修复装置。
背景技术
以画面形式显示多种信息的图像显示装置作为信息通信时代的核心技术,正在向更薄、更轻、可携带、并具有高性能的方向发展。近年来,追求空间性、便利性的可弯曲的柔性显示器,而在显示器中,控制有机发光层发光量的显示基板备受瞩目。
显示基板在制造过程中一旦出现缺陷,则废弃,导致制造单价上升。为了解决这样的问题,一直在试图修复制造过程中产生的缺陷,提高收率,减少制造单价。而,目前所使用的修复方法仅采用单一特性的激光光束照射基板,对缺陷进行修复,使得基板上正常薄膜层也被照射到激光光束,导致像素整体损伤。
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点,本发明的目的在于提供一种显示基板的激光修复方法、修复装置,用于解决上述现有技术中的问题。
为实现上述目的及其他相关目的,本发明提供一种显示基板的激光修复方法,包括:
确定所述发光显示基板的缺陷种类,所述缺陷种类分为短路缺陷、异物缺陷,
当缺陷种类为短路缺陷时,利用第一波长激光从引起所述短路缺陷的搭接部分的一侧以线条形式移动至所述搭接部分的另一侧,切割所述搭接部分,完成短路修复;
当缺陷种类为异物缺陷时,利用第二波长激光去除异物所在的异物区域,完成异物修复,其中,所述异物区域是在一定面积内由玻璃基板以外的其他薄膜层构成的区域;
在相同能量下,经过所述搭接部分的第一波长激光相对于置于所述搭接部分两侧的第一波长激光具备更短的脉宽,或是,在相同脉宽下,经过所述搭接部分的第一波长激光相对于置于所述搭接部分两侧的第一波长激光具备更高的能量。
于本发明的一实施例中,在相同能量下,经过所述搭接部分的第一波长激光采用飞秒脉冲,置于所述搭接部一侧或另一侧的第一波长激光采用皮秒脉冲。
于本发明的一实施例中,在切割所述搭接部分过程中,利用所述第一波长激光去除所述搭接部分以及置于所述搭接部分上方的薄膜层。
于本发明的一实施例中,所述第一波长激光的光束形状为长方形。
于本发明的一实施例中,所述第二波长激光为长方形。
本发明还提供了一种用于显示基板的激光修复装置,包括:
工作平台,用于放置显示基板,在所述工作平台的一侧安装第一导轨,所述第一导轨沿第一方向延伸;
安装支架,连接所述第一导轨,在所述安装支架上还开设有第二导轨,所述第二导轨沿与第一方向交叉的第二方向延伸;
激光部,置于所述显示基板上方,并与所述安装支架的第二导轨相连接,所述激光部包括用于短路修复的第一激光元件,
第一激光元件内含有第一激光发生器和第二激光发生器,所述第一激光元件选择所述第一激光发生器或所述第二激光发生器的激光光束作为第一波长激光,
在相同能量下,所述第一激光发生器所发生的第一激光光束相对于所述第二激光发生器所发生的第二激光光束具备更短脉宽。
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