[发明专利]线切割装置及硅棒加工设备

权利要求书

1.一种硅棒加工设备的线切割装置，其特征在于，所述硅棒加工设备包括机座，具有硅棒加工平台；硅棒承载装置，设于所述硅棒加工平台上，用于承载待切割硅棒；所述线切割装置包括：

切割架，设于所述机座；

至少一线切割单元，活动设于所述切割架；所述线切割单元包括：

沿第一方向依序设置的多个切割轮，每一个切割轮上具有至少两个切割线槽；

至少一过渡轮，每一个所述过渡轮具有导线槽；

切割线，顺次绕于所述多个切割轮和过渡轮以形成至少一切割线锯；

至少一移位机构，用于驱动所述至少一过渡轮沿第二方向移动，以使所述至少一过渡轮中经切割缠绕的当前导线槽在第二方向上从对应于所述切割轮的第一线槽移动至对应于所述切割轮的第二线槽。

2.根据权利要求1所述的硅棒加工设备的线切割装置，其特征在于，所述过渡轮为单导线槽过渡轮。

3.根据权利要求1所述的硅棒加工设备的线切割装置，其特征在于，属于同一线切割单元中的多个切割轮以两两配对的方式形成至少两个切割轮组，在相邻两个切割轮组中相邻两个切割轮之间还设有过渡轮，所述过渡轮具有至少两个导线槽，所述切割线顺次绕于所述切割轮和过渡轮上以在每一个切割轮组中的两个切割轮之间形成一个切割线锯，其中，所述切割线在绕于所述相邻两个切割轮组中相邻两个切割轮时由前一个切割轮组中在后的一个切割轮的切割线槽穿出并经由所述过渡轮的导线槽之后穿进后一个切割轮组中在前的一个切割轮的切割线槽。

4.根据权利要求1所述的硅棒加工设备的线切割装置，其特征在于，属于同一线切割单元中的多个切割轮包括首切割轮、尾切割轮、以及位于所述首切割轮和尾切割轮之间的至少一中间切割轮，在所述至少一中间切割轮的旁侧还设有过渡轮，所述过渡轮具有至少两个导线槽，所述切割线顺次缠绕于所述切割轮和过渡轮以在任意相邻的两个切割轮上形成一个切割线锯，其中，所述切割线在缠绕于所述中间切割轮时，由所述中间切割轮上至少两个切割线槽中的一切割线槽穿出并经由旁侧的所述过渡轮之后由所述中间切割轮上至少两个切割线槽中的另一切割线槽穿进，从而使得任意相邻两个切割线锯之间在第二方向上具有一切割偏移量，所述切割偏移量对应于相关的两个切割线槽之间的间距。

5.根据权利要求1中任一项所述的硅棒加工设备的线切割装置，其特征在于，每一个所述过渡轮设于支架上，所述支架通过所述至少一移位机构带着所述过渡轮沿第二方向移动。

6.根据权利要求5所述的硅棒加工设备的线切割装置，其特征在于，所述至少一过渡轮配置有相互独立的移位机构上，每一过渡轮由对应的一移位机构驱动沿第二方向移动；或，所述至少一过渡轮的支架通过连接梁连接在一起，所述连接梁通过所述至少一移位机构带着所述至少一过渡轮沿第二方向移动。

7.根据权利要求6所述的硅棒加工设备的线切割装置，其特征在于，所述移位机构包括：

移位导轨，沿第二方向设置；

动力源，用于驱动所述至少一过渡轮沿移位导轨移动。

8.根据权利要求7所述的硅棒加工设备的线切割装置，其特征在于，所述动力源为气缸组件，包括：

气缸或液压泵；

伸缩杆，连接至所述过渡轮的支架或所述连接梁。

9.根据权利要求7所述的硅棒加工设备的线切割装置，其特征在于，所述动力源包括：

丝杆，连接至所述过渡轮的支架或所述连接梁；

驱动源。

10.根据权利要求1所述的硅棒加工设备的线切割装置，其特征在于，还包括：至少一调距机构，设于所述至少一线切割单元上，用于驱动所述至少一线切割单元中多个切割轮沿第二方向移动，以调整所述至少一线切割单元中至少一线割线锯的切割位置、或者变换切割线绕于所述至少一线切割单元中多个切割轮的切割线槽。