[发明专利]一种回收高纯SiO2

说明书

本发明创造提供了一种回收高纯SiO₂和盐酸的装置，包括依次相连的废气排气管、固体回收装置、以及酸气净化装置，所述固体回收装置将气体中的颗粒分离沉淀回收，得到颗粒物SiO₂GeO₂，所述酸气净化装置通过两级盐酸吸收塔将气体净化，并得到盐酸产品，净化后的气体通过风机牵引至排气烟囱高空排放。本发明创造用水量大大减少，只有现有方案用水量的0％‑20％，且无废水排放，治理了废气同时保护了环境，达到了节能减排的目的；本发明创造无需用碱液，无额外污染，大大减少了装置运行费用，降低了成本；本发明创造可回收得到较高浓度的高纯盐酸溶液，增加附件收益；本发明创造可回收得到无污染的SiO₂、GeO₂颗粒物，增加附件收益。

技术领域

本发明创造属于环保技术领域，尤其是涉及一种回收高纯SiO₂和盐酸的装置及方法。

背景技术

目前光通信行业芯棒生产采用气相沉积的方法，生产过程包括：芯棒沉积-芯棒烧结脱气-芯棒延伸-芯棒数据检测-芯棒接棒-包层沉积-包层烧结和脱气-光纤预制棒数据检测和入库等。

沉积过程中SiCl₄、GeCl₄在高温火焰中完成水解反应生成SiO₂、GeO₂沉积在旋转靶棒外表面上，其中反应过程中H₂、O₂过量，SiCl₄为主要原料，GeCl₄作为掺杂剂。该工序是在密闭的腔体内进行的，产生的反应废气主要污染物为石英粉尘(SiO₂、GeO₂)、HCl，通过排气管道抽吸至综合处理站废气处理系统。

脱气过程是炉内先用N₂进行吹扫，温度提升至1200℃，再通入Cl₂与He混合气进行脱水。Cl₂是作为脱水气体参与反应的。脱水烧结工序是在密闭的腔体内进行的，产生的反应废气主要污染物为HCl、Cl₂，通过排气管道抽吸至综合处理站废气处理系统。

目前光通信传输材料产业和金属线缆产业中光缆生产的过程采用气相沉积的方法，过程中会产生尾气，尾气主要组分是HCL、SiO₂、H₂O、N₂及 O₂等；目前光缆行业在尾气处理上多采用两级湿式电除尘，二级碱洗除酸的方法，虽能达到排放要求，但耗碱耗水量巨大，且投资巨大又无效益产生，处理后的尾液只能处理掉，既不环保也不能创收。

目前的环保方案仅局限于将有害物转化为无害组分进行达标排放，为达到这一目的需投入大量资金维持设备运行，且处理后产生了额外的排放物，无任何经济价值。传统的技术对于酸的回收是加碱液中和，酸碱反应生成大量废盐溶液，目前有些地区还允许废盐溶液的排放，但已经很多地区不允许废盐溶液的排放了，如果不允许排放后，需要增加多效蒸发装置对废液进行处理成废盐，增设多效蒸发装置不仅增加一笔巨大的投资，废盐还是需要进一步处理。根据国家标准《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》和 GB50585-2007《危险废物鉴别标准通则》废盐属于工业固体废物。目前的方法在处理了废气的同时又生成了大量的固废。综上所述原有方法治标不治本，既不环保又无效益产生。

发明内容

有鉴于此，本发明创造旨在提出一种回收高纯SiO₂和盐酸的装置，以解决上述背景技术中提到的问题。

为达到上述目的，本发明创造的技术方案是这样实现的：