[发明专利]一种碳基芯片特碳材料的制备方法及应用有效
申请号: | 202010543235.0 | 申请日: | 2020-06-15 |
公开(公告)号: | CN111875379B | 公开(公告)日: | 2022-11-15 |
发明(设计)人: | 张战;张倩楠 | 申请(专利权)人: | 深圳市赛普戴蒙德科技有限公司 |
主分类号: | C04B35/52 | 分类号: | C04B35/52;C04B35/622;C04B35/645;H01L29/16 |
代理公司: | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人: | 刘芙蓉;刘文求 |
地址: | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 材料 制备 方法 应用 | ||
1.一种碳基芯片特碳材料的制备方法,其特征在于,包括:
将原料压制成有机块状物,按重量份计,所述原料包括:有机物焦化粉40~95份、有机物气流磨粉5~60份、有机成型剂10~20份;
将所述有机块状物进行热压烧结,得到碳素块;
将碳素块进行回火处理,得到碳基芯片特碳材料;
所述有机物焦化粉对应同种的有机物气流磨粉;
所述有机物为聚乙烯、苯、萘、环氧树脂、聚酰胺中的一种;
所述有机成型剂为糯米成型剂;
所述热压烧结具体包括:
将有机块状物进行升压升温,使压力和温度分别升至40~80Mpa和800~1200℃后,进行保温保压;
所述回火处理的温度为1000~3100℃。
2.根据权利要求1所述的碳基芯片特碳材料的制备方法,其特征在于,所述有机物焦化粉通过如下步骤制备得到:
提供有机物;
将所述有机物进行焦化处理,得到有机物焦化粉,其中所述焦化处理的温度为400~600℃。
3.根据权利要求1所述的碳基芯片特碳材料的制备方法,其特征在于,所述有机物焦化粉的粒径为0.5~10微米;
所述有机物气流磨粉的粒径为0.5~10微米。
4.根据权利要求1所述的碳基芯片特碳材料的制备方法,其特征在于,按重量份计,所述原料包括:有机物焦化粉60份、有机物气流磨粉20份、有机成型剂20份。
5.根据权利要求1所述的碳基芯片特碳材料的制备方法,其特征在于,在所述热压烧结前,还包括:将所述有机块状物加热至100-200℃,进行脱水预处理。
6.一种如权利要求1所述的碳基芯片特碳材料在制备碳基芯片中的应用。
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