[发明专利]一种横向真空蒸镀彩虹膜生产装置及其镀膜工艺有效
| 申请号: | 202010540474.0 | 申请日: | 2020-06-15 | 
| 公开(公告)号: | CN111501008B | 公开(公告)日: | 2021-01-12 | 
| 发明(设计)人: | 刘思远 | 申请(专利权)人: | 合肥市辉耀真空材料有限责任公司 | 
| 主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/26;C23C14/04;C23C14/54 | 
| 代理公司: | 合肥广源知识产权代理事务所(普通合伙) 34129 | 代理人: | 胡丽虹 | 
| 地址: | 231100 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 横向 真空 彩虹 生产 装置 及其 镀膜 工艺 | ||
1.一种横向真空蒸镀彩虹膜生产装置,包括真空仓,所述真空仓中设置有放卷辊、收卷辊、若干导向辊,所述放卷辊上设置有蒸镀基材,所述收卷辊的一端部设置有收卷电机,所述真空仓的内腔下端设置有蒸镀室,所述真空仓的外部设置有抽真空系统,所述抽真空系统与真空仓相连通,所述真空仓中设置有主鼓,所述主鼓的一端部设置有控制电机,所述主鼓的下端鼓面伸入蒸镀室中,所述主鼓的中空内腔连接有冷却系统,所述蒸镀基材依次经导向辊、主鼓、导向辊收卷到收卷辊上,位于所述主鼓正下方的蒸镀室底壁上设置有蒸发源,其特征在于,位于所述主鼓与蒸发源之间的蒸镀室内部转动设置有彩条控制板,所述彩条控制板包括中空转轴,且中空转轴的轴线方向与主鼓的轴线方向平行,所述中空转轴上设置有隔流板,所述中空转轴的一端连接有用于驱动彩条控制板转动的驱动电机,所述中空转轴的内腔中设置有加热装置;
其蒸发源中设置有并排连续设置的蒸镀靶材,蒸镀靶材为对光具有干涉作用并使得膜面呈不同颜色的镀材,在蒸镀靶材升华过程中受到转动状态的彩条控制板的阻挡作用加上蒸镀基材自身的收卷传动,使得在沿着收卷方向上蒸镀基材表面的蒸镀靶材镀层厚度不同,中空转轴的轴线方向与主鼓的轴线方向平行设置,使得蒸镀基材上同一纵向上的蒸镀靶材厚度相同,最终使得膜面呈现出沿着收卷方向的彩虹条。
2.根据权利要求1所述的横向真空蒸镀彩虹膜生产装置,其特征在于:所述加热装置为导热油加热装置,所述导热油加热装置中的高温导热油通入中空转轴的内腔中。
3.根据权利要求1所述的横向真空蒸镀彩虹膜生产装置,其特征在于:所述加热装置为电阻加热装置,所述电阻加热装置直接设置在中空转轴的内腔中。
4.根据权利要求1所述的横向真空蒸镀彩虹膜生产装置,其特征在于:所述蒸发源包括蒸发槽,所述蒸发槽中设置有第一电极柱和第二电极柱,所述第一电极柱和第二电极柱之间设置有并排连续设置的若干蒸发舟,所述蒸发舟中放置有蒸镀靶材。
5.根据权利要求1所述的横向真空蒸镀彩虹膜生产装置,其特征在于:所述抽真空系统包括设置在真空仓外部的机械泵和扩散泵,所述机械泵和扩散泵上均连接有真空管,所述真空管上设置有阀门,所述真空管的端部与真空仓相连接通。
6.根据权利要求1所述的横向真空蒸镀彩虹膜生产装置,其特征在于:所述冷却系统为氟利昂强制制冷系统,所述氟利昂强制制冷系统通过管路与主鼓的中空内腔相连接。
7.一种使用权利要求1~6任一所述的横向真空蒸镀彩虹膜生产装置进行的镀膜工艺,其特征在于,包括如下步骤:
S1:打开真空仓将蒸镀基材装在放卷辊上,并将蒸镀基材依次经导向辊、主鼓、导向辊收卷到收卷辊上,同时启动冷却系统对主鼓进行降温冷却;
S2:合上真空仓保证真空仓处于密封状态,再启动抽真空系统将真空仓内部抽至负压值为1.3×100至1.3×10-4Pa的状态;
S3:同时启动蒸发源和中空转轴内腔中的加热装置,其蒸发源中的蒸镀靶材被加热至沸点,使得蒸镀靶材汽化蒸发,同时其加热装置产生的热量通过热传导作用使得整个彩条控制板温度升高;
S4:启动收卷电机、控制电机和驱动电机,其蒸镀基材在收卷辊的牵引下通过蒸镀室,并且蒸镀基材绕在主鼓的鼓面上,同时蒸发源中产生汽化的蒸镀靶材向上运动,其驱动电机控制彩条控制板转动使得不同状态下的隔流板对向上运动的蒸镀靶材其阻流效果不同,从而使得通过蒸镀室中的蒸镀基材表面的横向镀层厚度不同,达到横向真空蒸镀彩虹膜的作用,直至完成整个蒸镀基材牵引镀膜的过程;
S5:整个蒸镀基材牵引镀膜完成后,关闭收卷电机、控制电机和驱动电机,再关闭蒸发源和加热装置,最后关抽取抽真空系统,待真空仓内的温度恢复至室温时打开真空仓取料即可。
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