[发明专利]具有正棱柱形主鼓的横向彩虹膜生产装置及其镀膜工艺有效
| 申请号: | 202010540359.3 | 申请日: | 2020-06-15 |
| 公开(公告)号: | CN111501007B | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
| 发明(设计)人: | 刘思远 | 申请(专利权)人: | 合肥市辉耀真空材料有限责任公司 |
| 主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/24 |
| 代理公司: | 合肥广源知识产权代理事务所(普通合伙) 34129 | 代理人: | 胡丽虹 |
| 地址: | 231100 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 具有 棱柱 形主鼓 横向 彩虹 生产 装置 及其 镀膜 工艺 | ||
1.一种具有正棱柱形主鼓的横向彩虹膜生产装置,包括真空仓,所述真空仓中设置有放卷辊、收卷辊、若干导向辊,所述放卷辊上设置有蒸镀基材,所述收卷辊的一端部设置有第一变频电机,所述第一变频电机与变频器相连接,所述真空仓的内腔下端设置有蒸镀室,所述真空仓的外部设置有抽真空系统,所述抽真空系统与真空仓相连通,其特征在于,所述真空仓中设置有正棱柱形主鼓,所述正棱柱形主鼓的截面为正N边形,且8≤N≤64,所述正棱柱形主鼓的一端部设置有第二变频电机,所述第二变频电机也与变频器相连接,所述正棱柱形主鼓的下端鼓面伸入蒸镀室中,所述正棱柱形主鼓的中空内腔连接有冷却系统,所述蒸镀基材依次经导向辊、正棱柱形主鼓、导向辊收卷到收卷辊上,位于所述正棱柱形主鼓正下方的蒸镀室底壁上设置有蒸发槽,所述蒸发槽中设置有第一电极柱和第二电极柱,所述第一电极柱和第二电极柱之间设置有并排连续设置的若干蒸发舟,所述蒸发舟中放置有蒸镀靶材;
其中,横向彩虹膜是一种在蒸镀基材牵引方向上颜色不同的彩虹膜。
2.根据权利要求1所述的具有正棱柱形主鼓的横向彩虹膜生产装置,其特征在于:所述正棱柱形主鼓的每个棱线处均设置有倒角。
3.根据权利要求1所述的具有正棱柱形主鼓的横向彩虹膜生产装置,其特征在于:所述抽真空系统包括设置在真空仓外部的机械泵和扩散泵,所述机械泵和扩散泵上均连接有真空管,所述真空管上设置有阀门,所述真空管的端部与真空仓相连接通。
4.根据权利要求1所述的具有正棱柱形主鼓的横向彩虹膜生产装置,其特征在于:所述冷却系统为氟利昂强制制冷系统,所述氟利昂强制制冷系统通过管路与正棱柱形主鼓的中空内腔相连接。
5.一种使用权利要求1~4任一所述的具有正棱柱形主鼓的横向彩虹膜生产装置进行的镀膜工艺,其特征在于,包括如下步骤:
S1:通过PLC控制系统预先设变频器的频率参数,使得变频器的频率随时间变化;
S2:打开真空仓并将蒸镀基材装在放卷辊上,再将蒸镀基材依次经导向辊、正棱柱形主鼓、导向辊收卷到收卷辊上,同时启动冷却系统对主鼓进行降温冷却;
S3:合上真空仓保证真空仓处于密封状态,再启动抽真空系统将真空仓内部抽至负压值为1.3×100至1.3×10-4Pa的状态;
S4:接通第一电极柱和第二电极柱,实现对蒸发舟中的蒸镀靶材的加热,直至蒸镀靶材加热至沸点,使蒸镀靶材汽化蒸发;
S5:启动第一变频电机和第二变频电机,其第一变频电机和第二变频电机在变频器的控制下实现两者的非匀速同步转动,其蒸镀基材在正棱柱形主鼓和收卷辊的牵引下非匀速通过蒸发槽上方,此时蒸发舟中产生汽化的蒸镀靶材向上运动对牵引过程中的蒸镀基材进行镀膜,直至完成整个蒸镀基材的牵引镀膜过程;
S6:待整个蒸镀基材的牵引镀膜完成后,关闭第一变频电机和第二变频电机,再将第一电极柱和第二电极柱断开,最后关闭抽真空系统,待真空仓内的温度恢复至室温时打开真空仓取料即可。
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